판매용 중고 SVG 8600 #9265330

SVG 8600
ID: 9265330
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Developer systems, 6" 1996 vintage.
SVG 8600은 정밀 광학 표면을 청소하고 유지하도록 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 사진, 홀로그래피 및 기타 광학 연구, 개발 및 제작에 사용됩니다. 8600은 특허를받은 고압, 저 연마, 워터 제트 스크러빙 (water-jet scrubbing) 프로세스를 사용하는데, 이 공정은 손상시키지 않고 섬세한 결정 표면을 청소하도록 특별히 설계되었습니다. 조정 가능한 웨이퍼 제트 (wafer jet) 와 직접 마스크 제트 노즐 (direct mask jet nozzle) 과 두꺼운 마스크 청소를위한 조정 가능한 스핀들 부착을 갖춘 완전 자동화 스크러빙 시스템입니다. 스크러버는 최대 8 "직경 마스크와 12" 직경 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 가장 엄격한 입자 표준을 충족하도록 인증 된 매우 깨끗한 배기 시스템을 갖추고 있습니다. SVG 8600에는 3 방향 밸브 (3-way valve) 가 장착되어 있으며, 이는 청소 표면에 가해지는 압력의 양을 제어하는 데 사용됩니다. "밸브 '는" 워터제트' 가 광학 표면 을 손상 시키지 않도록 설계 되었다. 또한 "스크러버 '에는 습도" 센서' 와 같은 여러 가지 통합 된 안전 기능 이 있는데, 이것 은 수분 으로 인한 광학 물질 의 손상 을 방지 하기 위한 것 이다. 스크러버 (scrubber) 는 직관적인 조작 디스플레이 (display) 와 디지털 제어 (control) 를 통해 손쉽게 클리닝 프로세스를 조정하고 클리닝 매개변수를 최적화하여 최상의 결과를 얻을 수 있도록 사용자 친화적으로 설계되었습니다. "스크러버 '는 내구성 있는 전기" 모터' 로 구동 되며 계속 작동 하도록 설계 되었다. 청소 과정은 컴퓨터로 제어되며, 클리닝 프로세스의 정확한 매개변수 (예: 압력, 온도, 지속 시간) 는 쉽게 조정할 수 있습니다. 8600에는 빠른 변경 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 제트 (mask jet) 노즐 어셈블리가 장착되어 있어 웨이퍼와 마스크를 빠르고 효율적으로 전환할 수 있습니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 또한 가장 엄격한 환경 표준을 충족하도록 설계되었으며, 물 폐기물을 줄이기 위해 폐쇄 된 물 시스템을 포함하는 친환경 설계를 갖추고 있습니다. 스크러버는 또한 환경 목적으로 낮은 소음 및 진동 수준을 특징으로합니다. 전반적으로 SVG 8600은 산업 등급 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 최대한의 안전성과 효율성을 제공하면서 섬세한 광학 표면 (optical surfaces) 을 손상시키지 않고 청소하도록 특별히 설계되었습니다. 사진 작가, 연구 기관, 정밀 광학 제조 작업에 이상적인 선택입니다.
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