판매용 중고 SVG 8600 #9255092
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SVG 8600은 집적 회로 생산을 지원하는 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 지표면 입자, 오염 물질, 잔류 물결을 장치를 손상시키지 않고 생산 웨이퍼 및 포토 마스크 (photomask) 에서 안전하게 제거하도록 설계되었습니다. 스크러버에는 혁신적인 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 가 있으며, 둥근, 사각형 또는 불규칙한 모양의 웨이퍼를 포함한 다양한 유형의 웨이퍼 크기를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 또한 다른 미크론 입자 크기에 대한 조정 가능한 필터가 장착되어 있습니다. "스크러버 '의 본체 는 튼튼 한" 스테인리스 스틸' 로 만들어져 있으며 마감 을 한다. 또한 정리 (clean-up) 솔루션을 보유하기위한 대용량 탱크가 있으며, 용액의 적절한 흐름을 보장하기 위해 순환 펌프 (circulation pump) 가 있습니다. 또한, 이 기계에는 고성능 멀티 프로세싱 회전 (multi-processing) 장비가 장착되어 있어 와퍼와 클리닝 솔루션의 균일 한 접촉을 보장합니다. 회전 시스템은 사용자 친화적인 특수 사용자 인터페이스 (user interface) 로 설계되어 쉽고 정확한 작동이 가능합니다. 스크러버는 고효율 여과 장치를 사용하여 일관된 청소 정확성을 보장합니다. 주요 필터링 메커니즘에는 유기 및 무기 오염 물질 모두 제거 할 수있는 화학 필터 머신 (chemical filter machine) 과 더 큰 입자 제거를위한 입자 필터 (particle filter) 가 포함됩니다. 스크러버 (Scrubber) 에는 비상 차단 스위치 (Emergency Shutoff Switch) 와 플로우 모니터 (Flow Monitor) 와 같은 안전 기능이 내장되어 있어 작동 중에 외국 물체가 탱크에 들어오지 않도록 할 수 있습니다. 또한, 스크러버에는 최적 청소 결과에 대한 정확한 온도 조절을 보장하기 위해 고정밀 온도계 (high-precision termometer) 및 온도 조절 시스템 (thermostatic control system) 이 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 프로세스 모니터링, 추적 가능성, 기록 기능을 내장하여 결함 감소 테스트 (detailed defect reduction testing) 를 수행할 수 있습니다. 이 모든 기능은 산업 생산 시설의 안전하고, 빠르고, 효율적인 성능을 보장하는 데 도움이 됩니다. 8600 스크러버는 탁월한 성능, 정확성, 안전 수준을 제공하는 뛰어난 와퍼 및 마스크 스크러버입니다. 생산용 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 빠르고 안전 하게 청소 하는 데 사용 할 수 있다.
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