판매용 중고 SVG 8600 #9186279

SVG 8600은 SVG Lithography에서 개발 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 클린 룸 (Clean Room) 환경을 위해 특별히 설계되었으며 반도체 웨이퍼 및 레티클 (마스크) 을 청소하는 데 이상적입니다. 8600은 화학이없는 스크러빙 공정을 사용하여 환경 친화적입니다. 유체 및 화학 물질이 적고 낭비가 최소화됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 독점 브러쉬 스크러빙 공정을 사용하여 제품에서 입자와 오염 물질을 효율적이고 효과적으로 제거합니다. 스크러빙 효능을 높이기 위해 가압 청소 액체를 사용합니다. SVG 8600 스크러버에는 3 단계 청소 프로세스가 있습니다. 첫째, 가압 액체 가 제품 에 적용 되어 "입자 '와 오염 물질 을 느슨하게 하고 정지 시킨다. 그런 다음, 강모 의 평면 이 제품 에 대하여 회전 하여 "스크럽 '을 하고, 파편 과 입자 를 제거 한다. 마지막으로, 일련의 유체 제트를 사용하여 나머지 입자를 린스합니다. 스크러버는 또한 강제 공기 건조를 사용하여 기질에서 과도한 액체를 제거합니다. 8600은 신뢰성을 위해 설계되었으며, 집중적 인 청소 공정에 노출되어 부식을 방지하기 위해 금속 부품에 보호 코팅 (protective coating) 을 적용했습니다. 이것은 스크러버의 최대 효율성을 보장하는 데 도움이됩니다. "스크러버 '는 엄청나게 정확 하고 정확 하며, 그 청소 기능 은 여러 해 동안 세심 하게 최적화 되어 왔다. 최소 0.02 미크론 크기의 최대 200 mm 및 0.5 mm 두께의 웨이퍼 및 마스크를 처리 할 수 있습니다. SVG 8600에는 수많은 디지털 센서가 있어 웨이퍼 ID (wafer ID), 기판 평판, 곡률 반지름과 같은 다양한 측정이 가능합니다. 스크러버 (scrubber) 는 원격 모니터링 및 데이터 로깅을 위한 다양한 소프트웨어 시스템과 호환됩니다. 스크러버의 작동은 직관적이며 최소 사용자 교육이 필요합니다. 여기에는 고급 GUI (Graphical User Interface) 가 있으며, 다양한 프로세스를 수용할 수 있도록 다양한 사용자 정의 가능한 사전 설정이 있습니다. 스크러버에는 모듈식 구성 (옵션) 도 있어 보다 유연한 워크플로를 만들 수 있습니다. 전반적으로, 8600은 효율적이고 안정적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 로, 모든 클린 룸 환경의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 빠른 스크러빙 사이클이 있으며, 그 시간 크리티컬 응용 프로그램에 적합합니다.