판매용 중고 SVG 8600 #9139668

SVG 8600
ID: 9139668
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer systems, 6".
SVG 8600은 반도체, 마스크 및 기타 섬세한 웨이퍼를 철저하고 효과적으로 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는 물" 제트', "이아스타 '거품 및 화학 첨가제 의 독특 한 조합 을 이용 하여" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 표면 에서 오염 물질 을 폭파 시킨다. 8600은 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이 장치 의 핵심 에는 일련의 "노즐 ', 유출" 트레이' 및 "펌프 '로 구성 된 청소 기판 이 있다. 노즐은 기판 전체에 배치되어 고압 워터 제트를 제공합니다. 워터 제트는 Iastar 폼 및 화학 첨가제와 함께 웨이퍼/마스크 (wafer/mask) 표면에서 완고한 입자와 오염 물질을 효율적으로 분해하고 제거합니다. 그 다음 유출 "트레이 '는 입자 와 오염 물질 을 수집 하고" 펌프' 는 청소 매체 를 다시 순환 하는 데 도움 이 된다. SVG 8600에는 고유한 클리닝 사이클도 있습니다. 주기가 시작될 때, 뜨겁고 가압 된 물은 기판에서 웨이퍼/마스크 표면 (wafer/mask surface) 에 강제 수송 된 후, 하향 및 수거 용지함으로 강제됩니다. Iastar 폼은 "접착제" 처럼 작동하여 어려운 오염 물질을 분해하고 웨이퍼/마스크 표면에서 멀어집니다. 마지막으로, 화학 첨가제는 기질에 적용되고, 웨이퍼/마스크 표면을 더 깨끗하게 만들고 위생 할 시간이 주어질 것이다. 주기가 완료되면, 나머지 오염 물질은 장치에서 쉽게 제거됩니다. 운영 측면에서 8600은 사용하기 매우 쉽습니다. 이 장치의 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 는 빠른 설정을 가능하게 하며, LCD 디스플레이를 지우면 모든 관련 정보가 표시됩니다. 첨단 모션 감지 기술 덕분에 스크러버 (scrubber) 는 자동으로 고정된 오브젝트를 인식하고 그에 따라 조정하여 일관되고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, SVG 8600은 내구성이 뛰어나며, 길고 신뢰할 수있는 서비스를 제공하기 위해 의지 할 수 있습니다. 이 장치 는 충격, 진동, 극도 의 온도 에 강한 내성 을 가지고 있다. 즉, 작동 환경 이 어떤 것 이든 처리 할 수 있다. 또한, 견고한 디자인 때문에 스크러버 (scrubber) 를 현장에서 쉽게 설치, 서비스할 수 있으므로 특정 까다로운 어플리케이션에 적합합니다.
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