판매용 중고 SVG 8600 #293827972

ID: 293827972
웨이퍼 크기: 4"
Coater system, 4" Silicon Carbide (SiC).
SVG 8600은 반도체 생산에 사용하도록 설계된 산업 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 포토 마스크 (photomask) 에서 먼지를 스크러빙, 청소 및 제거하는 데 탁월한 성능을 제공하는 고급 초음속 클리닝 기술을 구현합니다. 최대 6 개의 랙과 860mm 너비의 경우 더 큰 포토 마스크 (photomask) 와 작은 다이 (die) 및 넓은 면적 포토 마스크 (photomask) 를 수용 할 수 있습니다. 첨단 초음파 청소기술과 특허를 받은 밀봉장비를 활용한 8600 (8600) 은 사용된 액체· 용매를 최소화하면서 뛰어난 청소력을 제공한다. 이 기능은 민감한 전자 기판에 이상적입니다. 스크러버는 표준 SC-1 타입 클리닝 제로 채워진 탱크를 통과하는 고주파, 저진폭 음향 파를 사용합니다. 이것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 에서 입자, 오염 물질 및 기타 불순물 을 제거 하는 수백 가지 의 작고, 고효율, 자유 로운 청소 용액 의 "제트 '를 만든다. 임베디드 웨이퍼 컨트롤 시스템 (Wafer Control System) 과 터치 스크린 (Touch Screen) 은 스크러빙 파워를 정확하게 제어하며, 웨이퍼 모니터링은 실시간으로 수행되므로 필요한 경우 쉽게 매개변수를 조정할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 비접촉식 수력 레일 세척 장치를 가지고 있는데, 이는 청소 공정의 폐수가 수력 레일 탱크에서 수집되어 사용 된 물과 용매의 양을 감소시키는 것을 의미합니다. SVG 8600에는 작은 다이에서 점보 포토 마스크 (jumbo photomask) 까지 모든 유형의 포토 마스크를 수용 할 수있는 큰 FDA 호환 재료 챔버가 있습니다. 스크러버 (scrubbing) 는 정확한 스크러빙 (scrubbing) 과 장기, 신뢰할 수 있는 성능을 보장하기 위해 강력한 3 상 진공 드라이브 롤을 장착하여 웨이퍼 및 마스크의 정확하고 정확한 스크러빙 및 적절한 청소를 담당합니다. 전반적으로 8600은 고효율적이고, 정확하고, 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (산업 생산에 이상적) 입니다. 고급 초음파 청소 기술, 특허 밀봉기, 비접촉 수력 레일 세척 도구, FDA 호환 재료 챔버, 강력한 3 상 진공 구동 롤 등 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 이것 은 물 과 용매 의 낭비 를 최소화 함 으로써 "포토마스크 '로부터 먼지 를 신속 하고 효과적 으로 긁고, 청소 하고, 제거 할 수 있게 해 준다.
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