판매용 중고 SVG 8600 #293827968

SVG 8600은 박막 응용 프로그램을 청소하고 에칭하기 위해 SVG가 설계 한 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장비는 일련의 브러쉬, 제트, 압력 노즐을 사용하여 임계 표면에서 입자, 먼지 및 기타 오염 물질을 제거하기 위해 박막 기판을 이동하고 청소합니다. 스크러버는 폴리 실리콘, 화합물, 폴리머, 금속, 도체 등을 포함한 광범위한 물질로 표면을 청소하는 데 사용될 수 있습니다. 8600 스크러버에는 다양한 크기, 모양, 두께의 기판을 처리 할 수있는 사용자 정의 가능한 웨이퍼 패스가 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 다양한 스크러빙 매개변수 (scrubbing parameter) 와 사용자 정의 가능한 브러쉬 구성 (brush configuration) 이 있어 다양한 응용 프로그램 요구 사항을 수용할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 최적의 청소 및 높은 수율을 보장하는 진동 제한 기능으로 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 가스 제어 (gas control) 기능이 장착되어 있어 사용자가 스크러빙 제트기의 난기류를 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 박막 기판을 균일하고 완전히 청소할 수 있습니다. "스크러버 '는 또한 공기 의 오염 물질 을 제거 하는 공기 여과" 시스템' 을 갖추고 있어서, 그 장치 의 오염 수준 이 낮게 유지 되게 한다. "스크러버 '에는 또한 습식 시 오염 의 위험성 을 줄이는 데 도움 이 되는" 슬러리 머신' 이 들어 있다. 스크러버 (scrubber) 에는 스크러빙 프로세스가 시작되기 전에 부품의 크기, 모양, 위치를 정확하게 측정하는 통합 부품 감지 도구가 있습니다. 이는 정확한 에칭 프로세스가 발생하도록 도와줍니다. 스크러버에는 다양한 수준의 스크러빙을 허용하는 조정 가능한 브러시와 제트기가 있습니다. 조정 가능한 브러쉬와 제트의 조합은보다 철저하고 균일 한 에칭 프로세스를 제공합니다. 스크러버에는 안전성을 보장하기 위해 비상 차단 스위치도 장착되어 있습니다. 결론적으로, SVG 8600은 박막 에칭 (etching) 및 클리닝 어플리케이션의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 자산은 다양한 사용자 정의 가능한 기능과 슬러리 시스템 (slurry system) 을 제공하여 안정성과 균일 한 에칭을 보장합니다. 스크러버에는 통합 부품 감지 모델, 조절 가능한 제트 (jet) 및 브러쉬, 안전을위한 비상 차단 스위치도 포함됩니다.