판매용 중고 SVG 8600 #293827938

SVG 8600
ID: 293827938
웨이퍼 크기: 4"
Developer system, 4" Silicon Carbide (SiC).
SVG 8600 Wafer & Mask Scrubber는 다양한 반도체 응용 프로그램에 사용되는 웨이퍼 및 마스크를위한 최첨단 청소 프로세스를 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 고급 기술을 사용하여 가장 섬세한 기질에서 가장 거친 기판까지 다양한 기판을 안전하게 청소합니다. 그것 은 "반도체 '청정실 환경 에서 사용 하도록 설계 되었는데, 그 곳 에서는 더 높은 표준 의 청결 이 필요 하다. 8600은 기판을 손상시키지 않고 웨이퍼와 잔해와 오염 물질의 마스크를 쉽게 청소합니다. 유연하게 설계되었으며, 여러 가지 청소 작업에 쉽게 사용할 수 있습니다. 이를 통해 높은 품질의 결과를 얻을 수 있으며, 최대 처리량을 유지하면서 위탁 (Consigned) 및 납품 단계와 관련된 비용을 절감할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 브러시 (brush) 와 액체 유속 (liquid flow rate) 과 기타 다양한 설정을 조정하기 위한 디지털 컨트롤 패널이 장착되어 있습니다. 내장 타이머 및 온도 제어 시스템은 미리 정의된 매개변수 내에서 클리닝 (clean) 으로 설정할 수 있습니다. 또한 "브러쉬 '압력 은" 클리닝' 과정 의 어떤 단계 에서도 기판 재료 가 손상 되거나 긁히지 않도록 미리 설정된 수준 으로 설정 할 수 있다. SVG 8600 은 또한 여러 가지 안전 기능 (예: 자동 전원 차단, 문제가 감지되면 작동하는 리셋 시스템) 을 갖추고 있습니다. 이를 통해 청소 프로세스와 관련된 위험을 줄일 수 있습니다. 게다가, 스크러버는 고효율, 공압 유형 클리닝 솔루션을 통합하여 높은 품질의 클리닝을 제공합니다. 세척 용액은 고압 물 펌프를 사용하여 순환됩니다. 그 결과 "웨이퍼 '표면 의 고효율 의 청소 와 철저 한 적용 범위 가 생긴다. 스크러버는 사용하기 쉽고 여러 사용자 친화적 인 기능을 통합합니다. 사용자가 브러쉬 압력을 조절할 수 있을 뿐 아니라 스크러버 (scrubber) 의 각도 조정 (angle adjustment) 을 제어하여 스크러버를 최적의 각도로 기울여 표면을 효과적으로 청소할 수 있습니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 에는 여러 가지 유형의 특수 브러쉬 (brushe) 가 장착 될 수 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 표면을 쉽고 효과적으로 청소할 수 있습니다. 또한 8600 에는 여러 개 의 "센서 '가 장착 되어 있어서 청소 과정 의 안전 한" 파라미터' 내 에 "스크러버 '를 사용 하고 있다. 이러한 센서에 의해 문제가 감지되면 디지털 제어판 (digital control panel) 에 메시지가 전송되고 스크러버 (scrubber) 에 전원이 자동으로 꺼집니다.
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