판매용 중고 SVG 8600 #293827718

SVG 8600은 청소실 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 빠르고 효율적으로 수행할 수 있도록 설계된 고성능 반자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 모든 청소실 설치에 적합한 1790 mm x 1260 mm x 1440 mm 높이의 소형, 공기가 단단하고 먼지 방지 장치입니다. 스크러빙 챔버 (scrubbing chamber) 는 최대 200mm 크기의 웨이퍼 및/또는 마스크를 최대 8 개까지 자동으로 청소하도록 설계되었습니다. 스크러빙 프로세스는 사용자 친화적 인 컬러 터치 스크린 디스플레이 (Color Touch Screen Display) 를 통해 시작되므로 작동이 간단하고 직관적입니다. 스크러버 안에서, 2 세트의 스크러빙 패드는 반대 방향으로 회전하고, 웨이퍼와 마스크를 동요시켜 철저히 청소합니다. 패드는 웨이퍼와 클리닝 패드 사이의 향상된 결합을 특징으로하는 Semiconductor Grade (SGS) 엘라 스토머로 만들어집니다. 8600에는 필터링 된 공기 공급, 배기 포트, 스크러빙 미디어 저수지, 스크러빙 미디어 건조 랙, 스크러빙 공정 (scrubbing process) 용 액체 욕조와 같은 장비 구성 요소도 포함됩니다. 여과 시스템에는 고효율 미립자 필터와 고효율 듀얼 백 필터가 결합되어 있습니다. 스크러빙 미디어는 쉽고 편리하게 변경할 수 있습니다. 저수지 에는 "박테리아 '의 성장 을 최소화 하고 화학 물질 을 분해 하기 위한 난방 장치 도 있다. 특허받은 재순환 루프의 벤츄리 머신 (venturi machine) 은 스크러빙 챔버 (scrubbing chamber) 에 미디어를 지속적으로 일관되게 공급하는 데 도움이됩니다. SVG 8600은 또한 고압 분무기 (Sprayer) 와 같은 응용 프로그램, 스크러버의 청소 성능을 향상시키기 위해 설계된 가스 및 오스모미터 용해제 (osmometer solubilizer) 를 갖추고 있습니다. 또한 온도와 습도 컨트롤러가 통합되어 있어 수동 스크러빙 (scrubbing) 을 위한 일관되고 안전한 환경을 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 는 사용이 간편한 GUI를 제공하여 사용자는 최대 50 개의 다른 프로그램 사이클과 100 개의 다른 데이터 세트를 저장할 수 있습니다. 데이터 무결성을 유지하기 위한 몇 가지 보안 옵션도 포함되어 있습니다 (영문). 추가 안전 기능으로 8600은 내장 비상 차단 스위치를 사용합니다. SVG 8600 은 Cleanroom 환경에서 Wafer 및 Mask 를 스크러빙하는 경제적이고 안정적인 솔루션입니다. 기판 청소 및 처리를 위한 쉽고 효율적인 방법과 더불어 '청소' 의 다운타임을 줄여줍니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 스크러빙 기능으로, 8600 은 Cleanroom 스크러빙 어플리케이션에 적합합니다.