판매용 중고 SVG 8600 #293767780

SVG 8600은 반도체 웨이퍼 및 마스크 제조에 사용되는 산업 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 제품은 최첨단 모듈식 스크러버 (scrubber) 장비로, 클리닝 프로세스를 자동화하고 최종 사용자의 클리닝에 필요한 인건비를 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 매우 유연하며, 사용자가 설정과 매개변수를 사용자 정의하여 효율성 (efficiency) 과 클리닝 품질을 최대화할 수 있습니다. 이 장치에는 사전 스크럽 사전 린스 (pre-scrub pre-rinse), 스크럽 (scrub) 및 최종 린스 단계가있는 3 단계 클리닝 프로세스가 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 철저 히 청소 할 수 있으며, 동시 에 필요 한 시간 과 노력 을 줄일 수 있다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 신뢰할 수있는 로봇 암을 사용하여 청소 중 웨이퍼 또는 마스크를 정확하게 배치하고 스크럽 스테이션 (scrub station) 으로의 이동이 쉽습니다. 로봇 암은 높은 토크 서보 모터로 구동되며 < 0.02mm (0.02mm) 의 반복 가능성을 갖습니다. 스크럽 스테이션 (scrub station) 에는 웨이퍼 또는 마스크의 양쪽을 동시에 스크러브하도록 설계된 멀티 브러쉬 스크럽 헤드가 있습니다. 따라서 수동 청소 (manual cleaning) 가 필요 없으며 청소 작업과 관련된 인건비를 절감할 수 있습니다. 스크러버에는 조정 가능한 스핀 및 브러쉬 속도, 독립 회전 및 진동 제어가 있습니다. 따라서 사용자는 각 기판에 대해 최적의 스크러빙 (scrubbing) 매개변수를 선택하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 스크러빙 (scrubbing) 공정에서 생성 된 파편을 제거하도록 설계된 린스 스테이션 (rinse station) 을 포함합니다. 이 린스 스테이션은 재순환 및 가열 된 물을 특징으로하여 효과적인 잔해물 무료 린스를 제공합니다. 게다가, 이 툴에는 Vision-level 검사 (Vision-Level Inspection) 자산이 장착되어 있어 사용자가 완성된 제품의 품질을 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 자동 스크러빙 및 클리닝 프로세스 (scrubbing and cleaning process) 를 제공하는 것 외에도 8600은 운영자 및 환경의 안전을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 이 제품은 화학 폐기물을 안전하고 효율적으로 재활용, 재사용하는 데 도움이 되는 내장형 (Integrated Chemical Containment and Recovery) 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비에는 플로팅 챔버 (floating chamber) 와 운영자를 잠재적 위험으로부터 보호하는 비상 정지 버튼 (emergency stop button) 과 같은 안전 기능도 포함됩니다. 전반적으로, SVG 8600은 유연하고, 안정적이며, 견고한 산업 스크러버 시스템으로, 효과적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 클리닝 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 자동화된 프로세스, 조정 가능한 매개변수 (Adjustable Parameter), 향상된 안전 (Safety) 기능을 통해 인건비 및 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.