판매용 중고 SVG 8600 #293758627

SVG 8600은 SVG (Speed Vac Group) 에서 개발 및 제조 한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 8600은 고급 로봇 공학 (robotics) 과 자동화 (automation) 기능을 제공하여 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 작업의 효율적이고 안정적인 성능을 제공합니다. SVG 8600은 직경이 최대 18 "인 대형 웨이퍼를 수용하도록 설계되었으며, 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 다양한 작업에 유연성을 제공하는 8600 은 로터리 스크럽 헤드 최대 2 개와 고압 쇼어 헤드 2 개로 구성할 수 있습니다. 스크럽 헤드 (scrub head) 와 쇼어 헤드 (showerhead) 는 사용자 친화적 인 PLC 소프트웨어와 통합 프레임에 의해 제어되며, 효과적인 청소 및 처리를 가능하게하기 위해 정확한 제어 및 정확한 스크럽 및 샤워 암 배치를 제공합니다. SVG 8600 은 소형, 인체공학적 설계를 통해 작은 설치 공간 내에서 웨이퍼 (wafer) 와 마스크를 처리할 수 있습니다. 스크러버는 최대 4 개의 동시 프로세스를 효과적으로 청소하기 위해 1 개의 린스 탱크 (Rinse Tank) 및 옵션 격리 탱크 (Isolate Tank) 를 포함하여 최대 4 개의 공정 탱크를 가져 가도록 설계되었습니다. 공정 "탱크 '에는" 클리닝' 유체 가 계속 순환 하여 원치 않는 입자 들 을 제거 하고 일관성 있는 화학 농도 를 보장 하기 위한 여과 "시스템 '이 갖추어져 있다. 또한, "탱크 '에는 화학 물질 이 낮게 작동 하고 있거나 교체 필요 할 때 탐지 할 수 있는 저준위 화학적 탐지 장치 가 장착 되어 있어서, 필요 하다면 화학적" 레벨' 을 대치 하도록 촉구 한다. 또한 8600에는 이중 단계 fail-safe 안전 시스템 및 EMI (Electro Magnetic Interference) 면역이 포함됩니다. 안전 장치는 2 개의 안전 시스템 (SVG OSHA 호환 안전 매트 및 업계 표준 안전 장치) 을 결합하여 스크럽 헤드 (scrub head) 와 샤워 암 (shower arm) 이 항상 올바른 위치에 있는지 확인하여 운영자 손상을 방지합니다. EMI 면역은 정전기 및 전기 교란으로부터 기계를 보호하고, 데이터 및 귀중한 기기를 간섭으로부터 보호합니다. 전반적으로 SVG 8600 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 다양한 작업을 위해 정확하고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 정밀한 로봇, 통합 프레임, 강력한 여과 도구, 강력한 안전 시스템을 갖춘 8600 은 고급 청소 및 처리 작업에 적합합니다.