판매용 중고 SVG 8600 #293758581

SVG 8600 (SVG 8600) 은 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 추가 제작을 위해 웨이퍼 및 마스크 표면을 효율적으로 청소하고 준비합니다. "스크러버 '는 회전식" 브러쉬' 장비 를 이용 하여 금속 입자 와 금속 산화물 과 같은 표면 오염 물질 을 제거 할 수 있는 "스크러빙 '작용 과 광자유주의 잔류 작용 을 한다. 회전 브러쉬 (rotary brush) 는 섬세한 웨이퍼 또는 마스크 표면을 손상시키지 않고 임계 모서리 섹션에서 잔기를 철저하고 균일하게 제거 할 수 있습니다. 따라서 수작업으로 스크러빙할 필요가 없어지고, 비용 효율적인 생산 과정이 이루어집니다. "스크러버 '에는 이중" 브러쉬', 일반적 인 용도 의 표준 "브러쉬 ', 거칠거나 어려운 용도 를 위한 특수" 브러쉬' 가 들어 있다. 표준 "브러쉬 '는 부드러운" 스크러빙' 작용 을 하도록 설계 되었으며, 특수 "브러쉬 '의 스크러빙 액션 은 표준" 브러쉬' 의 강도 의 최대 10 배 이다. 이 로 말미암아 "스크러버 '는 가장 튼튼 한 잔류" 타입' 을 목표 로 삼을 수 있게 되며, "웨이퍼 '나" 마스크' 표면 을 깨끗 하게 하고 추가 처리 에 잘 대비 하게 된다. 스크러버에는 최대 6 리터의 부피가있는 청소 탱크가 있습니다. 이렇게 하면 처리량 및 효율성을 위해 여러 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 를 동시에 사용할 수 있습니다. "스크러버 '는 습식" 클리닝' 과 건조 "클리닝 '을 모두 할 수 있어서 광범위 한 기판 과 용도 에 적합 하다. "스크러버 '에는" 와퍼' 와 "마스크 '를 청소" 탱크' 안팎으로 수송 하는 "컨베이어 '가 들어 있다. 컨베이어 벨트 (conveyor belt) 를 조정하여 스크러빙 동작을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 벨트 속도는 0 ~ 600 rpm에서 설정할 수 있으며, 스크러빙 동작을 제어합니다. 스크러버 (scrubber) 는 스크러빙 작업을 모니터링하고 제어하는 독점 마이크로 프로세서 제어 시스템에 의해 구동됩니다. 이 장치에는 경고 및 경보 기능이있는 자체 진단 시스템 (self-diagnostic machine) 과 고급 타이머 기반 작업 스케줄 지정 도구 (advanced timer-based job scheduling tool) 가 있습니다. 전반적으로, 8600은 정확하고 효율적인 기판 준비를 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이중 브러쉬, 조절 가능한 컨베이어 및 마이크로 프로세서 제어 에셋의 조합으로 인해 많은 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 클리닝 어플리케이션에 이상적인 장비가 됩니다.