판매용 중고 SVG 8600 #293758579

SVG 8600은 SVG의 고급 건조 및 습식 청소 장비 인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 시스템은 오늘날의 마이크로 리토그래피 집약적 반도체 및 평면 패널 디스플레이 (FPD) 생산 라인을 위한 효율적이고 반복 가능한 클리닝 및 최적화 된 처리를 제공합니다. 1 급 하드 인클로저 (hard enclosure) 와 와퍼 및 마스크 기판을 플랫 또는 카세트 형식으로 수용 할 수있는 사이드 로딩 메커니즘이 장착되어 있습니다. 스크러빙 공정은 특허받은 대기 압력 플라즈마 제트 (plasma jet) 로 시작하여 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 기판의 표면에서 입자, 필름 및 잔기를 제거하도록 최적화됩니다. 이 "플라즈마 제트 '는 공정 이 고도 의 금속 (예: 구리," 알루미늄') 을 제거 할 수 있게 하는 표면 전하 를 개발 한다. 다음으로, 화합물 스크러빙 (compound scrubbing) 기술은 독점 윤활유와 결합 된 공격적인 기계적 운동을 사용하여보다 효과적인 청소를 위해 오염 물질을 제거합니다. 스크러빙 프로세스를 더욱 향상시키기 위해 8600에는 멀티 스테이지 워시가 있습니다. 이 세탁기는 고압, 이온화 제거 스프레이 (de-ionized spray) 를 사용하여 현재 시판되고 있는 모든 단위보다 더 완전하고 철저한 청소를 제공합니다. "스프레이 '는 기판 전체 의 표면 을 덮도록 설계 된 고급" 노즐' 한 "뱅크 '에서 방출 된다. 향상된 스크러빙 기능 외에도 SVG 8600 은 클리닝 프로세스를 모니터링하고 제어하는 다양한 정밀 측정 (precision measurement) 을 제공합니다. 이 기계는 접촉 간격 (contact spacing) 과 웨이퍼 지름 (wafer diameter) 측정과 정확한 프로세스 제어를 위한 모서리 추적 도구를 모두 갖추고 있습니다. 마지막으로, 8600 은 광범위한 소프트웨어 기능을 통해 기존 프로세스 제어 아키텍처에 쉽게 통합할 수 있습니다. RCC (Repeat Clean Cell) 하위 시스템 소프트웨어 (Repeat Clean Cell) 는 클리닝 프로세스를 자동화할 뿐만 아니라 데이터 수집 및 분석 작업을 용이하게 하며, 실행 시의 안정적이고 일관된 결과를 보장합니다. 이런 식으로, 모든 유형의 기판 및 응용 프로그램에 대해 최고 품질의 클리닝을 보장합니다. 전반적으로 SVG 8600 은 강력하고 정밀한 스크러빙 (scrubbing) 자산을 제공하여 품질을 극대화하고 주기 시간을 최소화합니다. 첨단 클리닝 공정 (cleaning process) 과 광범위한 측정 (measurements) 을 통해 깔끔하고 일관성 있는 표면 마무리와 뛰어난 신뢰성, 반복성을 제공합니다. 8600은 마이크로 리토 그래피 집약적 생산 라인에 이상적인 선택입니다.