판매용 중고 SVG 8600 #293670285

SVG 8600 (Automated Wafer and Mask Scrubber) 은 제조 중 기판 및 기타 구성 요소에서 입자 및 입자 오염을 제거하는 빠른 솔루션을 제공하는 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 첨단 "클리닝 '장비 는 3 개 의 별도 의 기술 을 사용 하는 독점" 스크러빙' "시스템 '을 이용 하여 추가 화학 약품 이나 용제 를 필요 없이 고급 청소" 사이클' 을 만든다. 스크러빙 장치는 직접 보기 리소그래피를 사용하여 입자를 정확하게 식별하고, 고응력 기계적 스크러빙을 통해 기질 표면의 오염을 동요시키고, 고정된 입자를 제거하기 위해 초음파 (ultrasonic wave) 를 사용합니다. 클리닝 프로세스의 결과는 입자 매핑을 통해 모니터링되어 단일 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle) 내에서 모든 오염 물질이 제거되었는지 확인합니다. 8600 (full-surface) 처리 기능을 통해 모든 기판 표면에서 포괄적 인 오염 제거가 가능합니다. 스크러빙 머신 (scrubbing machine) 은 클리닝 중인 각 기판의 크기, 표면 영역, 모양에 맞춘 정확한 클리닝 사이클 (cleaning cycle) 및 관련 클리닝 시간을 제공합니다. 이 도구는 질감 있는 서피스 및/또는 복잡한 모양으로 컴포넌트를 청소할 때에도 적절한 입자 제거를 유지하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 웨이퍼 처리 에셋 (wafer handling asset) 및 모서리 클리닝 기능 (edge cleaning features) 을 포함하여 다양한 클리닝 도구가 포함되어 있어 가장 완벽한 클리닝이 가능합니다. 이 모델은 또한 기판의 스크러빙 모션 (scrubbing motion) 을 안내하기 위해 모션 컨트롤 장비 (motion control equipment) 를 사용하여 안전하고 효율적인 작동을 위해 설계되었으며, 스크러버가 기판의 고정 영역을 만지지 않도록 합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 다양한 스크러빙 프로그램에 쉽게 액세스할 수 있으며, 운영자가 스크러빙 동작의 정확한 강도를 제어할 수 있도록 합니다. SVG 8600 은 화학적 (chemical) 또는 수동 (manual) 클리닝 솔루션에 필요한 시간 중 일부분에서 기판에서 입자를 제거할 수 있는 강력하고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 자동화된 스크러버는 반도체, 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics), 광전자공업 (optoelectronic industries) 등 다양한 제조 응용 분야에 사용하기에 적합합니다. 생산과 청소 시설의 효율성, 성능을 최적화하는 동시에, 안전하고 깨끗한 제조 환경을 확보할 수 있습니다 (영문).