판매용 중고 SVG 8600 #293666724

SVG 8600은 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그것 은 전자 과정 을 방해 할 수 있는 파편, 먼지, 다른 입자 들 의 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 안전 하게 청소 하도록 설계 되었다. 8600 은 모듈 식 "스크러버 '로서 청소 환경 에서의 정밀 청소 작업 을 위해 설계 되었다. 스크러버는 여러 고성능 스크럽 헤드 (scrub head), 멀티 스테이지 모터 (multi-stage motor) 및 정확한 디지털 컨트롤을 조합하여 웨이퍼와 마스크를 청소합니다. 스크럽 헤드 (scrub head) 는 워퍼 (wafer) 의 표면에서 입자를 제거하고 긁지 않고 마스크를 제거하면서 빠른 속도로 회전합니다. 스크럽 헤드는 사용자 정의가 가능하므로 다양한 크기, 모양, 압력 (pressure) 중에서 선택할 수 있습니다. 멀티 스테이지 모터는 전체 웨이퍼 및 마스크 표면에서 일관된 스크러빙 및 클리닝을 보장하도록 설계되었습니다. 디지털 컨트롤을 사용하면 클리닝 속도, 시간, 온도, 압력 등의 특정 변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 이렇게 하면 클리닝 프로세스가 웨이퍼 및 마스크 (wafer and mask) 요구 사항을 충족하고 초과합니다. SVG 8600에는 만능 청소를 보장하기 위해 3 차원으로 움직이는 자동 노즐도 있습니다. 이로써 사용자는 해당 지역에 도달하기 가장 어려운 부분을 청소할 수 있습니다 (영문). 8600 은 클리닝 (cleaning) 기능 외에도, 프로세스의 문제나 문제가 발생할 경우 사용자를 모니터링하고 경고하는 알람 (alarm) 시스템을 갖추고 있습니다. "SVG '8600 은 오염 물질 과 오염 물질 이 없이 깨끗 하고 여과 된 공기 의 공급원 을 공급 하는 압축 된 기원 에 의해 구동 된다. 스크러버 (scrubber) 는 청소실 작동을 위해 설계되었으며 모든 산업 청소실 표준을 충족하거나 초과하도록 평가되었습니다. 전반적으로 8600은 매우 효율적이고 효과적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "웨이퍼 (wafer) '와" 마스크 (mask)' 를 고도의 정밀도로 청소할 수 있는 잘 설계된 시스템이 있다. 또한 SVG 8600 에는 경보 시스템 (alarm system) 및 자동 기능이 있어 클리닝 프로세스가 안전하고 오류가 없습니다.