판매용 중고 SVG 8600 #293652301

SVG 8600은 반도체 프로세스 동안 웨이퍼와 마스크를 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 저진동, 고 토크 모터로 구동되며 스테인레스 스틸 클리닝 탱크 (stainless steel cleaning tank), 초음파 트랜스듀서 어레이 (ultrasonic transducer array) 및 왕복 클리닝 암 (cleaning arm) 을 포함한 별도의 모듈이 포함되어 있습니다. 청소 "탱크 '는 화학적 청소 의 주성분 이며, 자동 화학분사 장비 와 화학 저장" 컨테이너' 로 구성 되어 있다. 이 시스템을 사용하면 청소 탱크 (cleaning tank) 에 선택 화학 물질을 추가 할 수 있으며, 이 과정에서 화학 보조 청소가 수행됩니다. 또한, 탱크는 최대 300mm 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 초음파 트랜스듀서 배열은 스크러빙 유닛의 주요 구성 요소 역할을합니다. 활성화되면, 트랜스듀서는 작고, 고주파 진동의 스트림을 생성하며, 이어서 제트로 채워진 클리닝 유체를 통해 투영된다. 이 유체 는 먼지 와 다른 물질 들 을 "웨이퍼 '표면 에서 제거 하는 데 도움 이 되며, 그것 을 깨끗 하게 하여 그 후 의 과정 에 대비 하게 한다. 마지막으로, 왕복 클리닝 암 (reciprocating cleaning arm) 은 전체 표면적을 청소하기 위해 탱크를 앞뒤로 움직이는 데 사용됩니다. 이 팔은 최대 300mm 크기의 여러 웨이퍼를 운반 할 수 있으며, 공정 중에 최대 50mm (50mm) 까지 이동할 수 있습니다. 요약하면, 8600 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 웨이퍼와 마스크에서 오염 물질을 제거하기 위해 여러 대화식 모듈을 사용하는 고효율 기계입니다. 스크러버는 저진동, 고 토크 모터로 구동되며, 자동 화학 분사 기계, 초음파 트랜스듀서 어레이 및 왕복 청소 암을 갖추고 있습니다. 사용 중인 경우, 이러한 컴포넌트가 함께 작동하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 서피스를 청소하여 빠르고 효율적인 반도체 공정을 수행할 수 있습니다.