판매용 중고 SVG 8600 #293652282

ID: 293652282
System.
SVG 8600 은 "와퍼 '와" 마스크 스크러버' 로서 전자 부품 을 제조 하기 전 에 반도체 "웨이퍼 '와" 포토마스크' 를 청소 하는 데 도움 이 된다. 그것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 을 신속 하고 효과적 으로 깨끗 하게 하는 한편, 손상 과 오염 을 최소화 하도록 설계 되었다. 8600은 각각 2 개의 스크러빙 스테이션을 포함하는 2 개의 스크러빙 카세트를 사용합니다. 바닥 카세트에는 주 스크러빙 스테이션 (main scrubbing station) 이 있으며, 큰 원형 스크러빙 챔버에는 연마 입자, 회전 브러쉬 또는 결정이 포함되어 있으며, 웨이퍼와 마스크를 효과적이고 효율적으로 스크러빙할 수 있습니다. 상부 "카세트 '에는 2 차" 스크러빙' "스테이션 '이 있으며, 청소 액체 를" 웨이퍼' 와 "마스크 '표면 에 적용 하는 성운 장치 가 있다. 스크러빙 공정 은 "와퍼 '나" 마스크' 가 바닥 "카세트 '의 주" 스크러빙 챔버' 에 놓이는 것 으로 시작 된다. 챔버 (chamber) 가 회전함에 따라, 스크러빙 미디어는 원심력에 의해 내부로 운반되어 모든 표면을 효율적으로 청소합니다. 스크러빙 (scrubbing) 이 완료되면, 상부 카세트의 성운화가 활성화되어, 청소액을 웨이퍼 또는 마스크 표면에 뿌린다. 그런 다음이 액체는 초저류 진공에 의해 제거되어 모든 표면이 완전히 깨끗해질 수 있습니다. SVG 8600에는 디지털 컨트롤러 (Digital Controller) 가 장착되어 있어 스크러빙 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 일관된 결과와 완벽한 스크러빙 기능을 제공하지 않습니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 잠재적 인 위험 또는 오작동을 감지하여 손상 및 사고 위험을 최소화하면 기계를 자동으로 종료하는 안전 시스템 (Safety System) 을 내장하고 있습니다. 결론적으로, 8600은 매우 효과적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (cruber) 로, 피해와 오염을 최소화하면서 반도체 부품을 빠르고 일관되게 청소합니다. 디지털 컨트롤러와 안전 (Safety) 시스템을 갖춘 SVG 8600은 최적의 성능과 안전성을 보장하여 최고 수준의 웨이퍼 및 마스크 품질을 제공합니다.
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