판매용 중고 SVG 8600 #293618746

ID: 293618746
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2007
Coater systems, 6" 2007 vintage.
SVG 8600은 마이크로 일렉트로닉 부품 생산에 사용되는 고성능 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 8600 은 고급 고성능 로봇 머신으로, 생산 과정에서 웨이퍼와 마스크를 효율적으로 청소합니다. 스크러버 (scrubber) 는 재료 표면에서 오염 물질을 제거하는 일련의 정확하게 제어 된 동작 (motion) 과 운동으로 자동 프로그램을 통해 작동합니다. 통합 여과 장비 는 "웨이퍼 '와" 마스크' 표면 에서 입자 를 제거 하고 기계 의 작동 환경 을 깨끗 하게 한다. 스크러버 (scrubber) 는 고밀도, 다중 축 로봇 암을 가지고 있으며, 웨이퍼와 마스크를 서로 다른 방향으로 회전하고 기울여 표면에서 최적의 입자 제거를 보장합니다. "로봇 '암 이 인간 의 오차 의 가능성 을 제거 하기 때문 에, 이것 은 수동" 스크러빙' 보다 훨씬 더 효율적 인 과정 이다. 또한 SVG 8600 에는 "와퍼 '와" 마스크' 의 표면 에 불완전성 과 오염 물질 을 검사 할 수 있는 고급 광학 "시스템 '이 들어 있다. 게다가, 스크러버 (scrubber) 에는 스크러빙 암 (scrubbing arm) 과 제거된 입자의 양을 지속적으로 모니터링하는 피드백 (feedback) 장치가 내장되어 있으며, 필요한 경우 연산자가 기계를 멈추고 최적의 성능을 보장하기 위해 조정할 수 있습니다. "스크러버 '는 또한 가공 중 에" 웨이퍼' 와 "마스크 '가 과열 되는 것 을 막는 강력 한 냉각기 를 갖추고 있다. 이는 재료의 잠재적 손상을 방지하고 장기적인 신뢰성을 보장합니다. 결론적으로, 8600은 안정적이고 효율적인 클리닝 프로세스를 제공하는 고성능 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (wafer & mask scrubber) 로, 재료의 무결성과 높은 정결성 표준을 보장하는 고급 기능을 제공합니다.
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