판매용 중고 SVG 8600 #293586853

SVG 8600 (SVG 8600) 은 사진 해설에 사용되는 웨이퍼 및 마스크 표면을 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 온화한 연마성 스크러빙 모션 (crubbing motion) 을 활용하여 섬세한 표면에서 오염 물질을 제거하는 자동 장비입니다. 8600 은 Wafer 및 Mask 스크러빙 프로세스를 간소화하도록 설계된 자동화된 사용자 친화적 시스템입니다. 스크러버 (scrubber) 요소의 정확한 이동을 위해 프로그래머블 (programmable) 논리 컨트롤러가 장착되어 있으며, 스크러빙을 위한 최적의 속도와 각도를 포함합니다. 이 장치에는 와퍼 (wafer) 및 열로 인한 마스크 손상을 방지하기 위해 조정 가능한 온도 조절이 있습니다. SVG 8600의 스크러빙 공정은 일반적으로 먼지, 입자 또는 유기 필름과 같은 오염 물질을 느슨하게하고 제거하기 위해 아이소 프로필 알코올 (IPA) 및 탈이온화 된 물 용액에서 수행된다. 평평하거나 구부러진 표면을 초소프트, 고급 나일론 직조 스크러빙 패드로 스크러빙 할 수 있습니다. 사용자는 스크러빙 방향 (scrubbing direction), 속도 (speed), 압력 (pressure) 등 특정 프로세스의 요구 사항에 맞게 스크러버 동작을 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 8600 년 에는 또한 "스크러빙 '된 오염 물질 을 수집 하고 걸러내는, 자동화 된 별도 의 폐수 수집 및 여과 기계 도 포함 된다. 폐수는 폐기물을 최소화하고 자원을 절약하기 위해 재활용 및 재사용됩니다. SVG 8600은 손쉽게 작동할 수 있도록 설계된 대용량 사용자 친화적 그래픽 인터페이스와 함께 제공됩니다. 또한 대형 안전 케이지 (Safety Cage), 마이크로 스위치 (Micro Switch), 라이트 그리드 보호 (Light Grid Protection) 등 다양한 안전 기능이 있으며, 작동 중 운영자가 안전하게 보호되도록 설계되었으며 공중 오염으로부터 보호됩니다. 8600은 포토 마스크 (photomask), 레티클 (reticles), 기판 (기판) 등에서 오염 물질을 제거하는 데 적합하며, 포토 리토 그래피 프로세스를 시작하기 위해 최고 수준의 깨끗함이 달성됩니다. 효율적이고, 반복적으로 활용 가능하며, 일관성 있는 스크러빙 프로세스를 보장하도록 설계된 안정적이고 경제적인 툴입니다.