판매용 중고 SVG 8020 / 8120 / 8620 SSC #82960
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SVG 8020/8120/8620 SSC는 깨끗하고 건조하고 입자가 없는 표면을 제공하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버 시스템입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 금속 입자, 먼지 입자 및 생산 수확량에 영향을 줄 수있는 다른 외국 물질을 제거함으로써 오염 물질이없는 표면이 생성되도록 도와줍니다. 반도체, 평면 패널 디스플레이 (FPD), 광학 및 마이크로 전자 장치를 포함한 다양한 산업에 사용됩니다. 8020/8120/8620 SSC 스크러버에는 듀얼 스크러버 헤드, 각 주택 2 개의 청소 장치 및 2 개의 개별 필터가 장착되어 있습니다. 이를 통해 빠르고 철저한 웨이퍼와 마스크 스크러빙이 가능합니다. 스크러버 헤드에는 습식 및 건식 표면에 모두 사용할 수있는 2 개의 독립적 인 습식 및 건식 스크럽 암이 있습니다. 카운터 회전 스크럽 암은 모든 표면에서 부드럽지만 효율적인 스크러빙 동작을 제공합니다. SVG 8020/8120/8620 SSC에는 2 개의 스크럽 암 외에도 일부 클리닝 스프레이 및 린싱 에이전트가 장착되어 있습니다. 베어 (bare) 기판, 폴리실리콘 (polysilicon) 또는 기타 재료이든 클리닝되는 서피스 유형에 맞게 사용자정의할 수 있습니다. 스프레이 및 린스 용액은 제어 가능한 노즐에 의해 제공되며, 스크러빙 효율이 더욱 향상됩니다. 8020/8120/8620 SSC는 주변 환경과 진공 환경 모두에서 작동하도록 설계되었으며, 다양한 제조, 습식 (wet), 스토리지 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 공기 정화 노즐 (air-purged nozzle) 이 장착되어 있어 깨끗하고 오염이 없어서 진공 또는 온도 조절 환경에 웨이퍼를 넣으면 오염 위험이 줄어듭니다. 이를 통해 안정적인 성능과 일관된 수익률을 보장할 수 있습니다. SVG 8020/8120/8620 SSC 스크러버는 다양성과 사용 편의성을 위해 설계되었습니다. 직관적인 터치 스크린 디스플레이와 직관적인 사용자 입력 기능으로 설치, 운영 등이 쉽고 효율적입니다. 그 결과, 생산, 실험실, 연구 환경 에 모두 사용 하는 데 적합 합니다. 8020/8120/8620 SSC는 스크러브 (scrub), 스프레이 (spray) 및 리스 (rinse) 기능을 통해 모든 생산 시설에 귀중한 자산입니다.
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