판매용 중고 SVG 600 HT Micralign #293655054
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SVG 600 HT Micralign은 반도체 제조를 위해 기판을 청소하고 정렬하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버는 최대 600 ° C (1112 ° F) 의 온도를 견딜 수있는 고온 응용에 최적화되었습니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 에서 오염 물질 과 입자 를 효과적 으로 제거 하기 위하여 회전 운동 의 조합 과 조정 가능 한 청소 압력 과 각도 를 사용 하여 섬세 한 표면 을 손상 시키지 않고 "마스크 '와" 웨이퍼' 를 제거 하도록 설계 되었다. 스크러버 (scrubber) 는 고급 전자 플랫폼을 특징으로하며, 정밀 프로그래밍을 통해 높은 효율로 기판을 정확하고 반복적으로 청소할 수 있습니다. 내부 현미경은 청소 과정의 정확한 시각 검사 및 피드백을 허용합니다. 스크러버는 세 가지 주요 구성 요소 (클리닝 헤드, 로터리 드라이브 및 검사/모터 플랫폼) 로 구성됩니다. 청소 헤드는 이중 동축 연마 브러시 배열을 포함합니다. 청소 "헤드 '의 조절 가압 과 각도 를 이용 하여, 이중 연마제" 브러싱' 작용 은 기판 의 가장자리 까지 "입자 '를 온통 제거 한다. "로터리 '" 드라이브' 는 청소 "헤드 '의 이동 에 동력 을 공급 하는 데 사용 되어 기판 에서 정확 한 청소 동작 을 수행 할 수 있다. 로터리 드라이브 (Rotary Drive) 는 안정성이 뛰어나고 최고 10,000RPM 의 속도를 높여 빠르고 효율적으로 청소할 수 있도록 설계되었습니다. 검사/모니터링 플랫폼을 사용하면 내부 현미경으로 청소 과정을 정확하게 시각적으로 검사 할 수 있습니다. 또한, 클리닝 프로세스 전반에 걸쳐 사용된 매개변수를 데이터 로깅 및 분석할 수 있습니다. 전반적으로 600 HT Micralign은 고온 응용을 위해 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 정밀하고 안정적인 클리닝 (cleaning) 을 위해 설계되었으며, 제조업체는 품질 기판을 일관되게 생산하기 위해 필요한 성능을 제공합니다.
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