판매용 중고 STEAG HAMATECH ASC 500 #9014078
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STEAG HAMATECH ASC 500은 다양한 반도체 제조 공정에 사용하기 위해 비용 효율적인 고성능 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 스크러빙 솔루션을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 최대 2 만 5 천 RPM을 달성하여 주어진 장치의 웨이퍼 및 마스크 표면을 올바르게 청소할 수 있습니다. 스크러버에는 2 개의 개별 스크러빙 헤드가 있으며, 각각 자체 브러쉬 크기와 조절 가능한 스크러빙 압력이 있습니다. 스크러빙 헤드는 또한 모든 웨이퍼 표면을 가로 질러 어느 방향으로든 최대 60 인치 (linear inch) 의 스크러빙 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 스크러빙 헤드에서 부드럽고 일관된 성능을 제공하는 일련의 고속 베어링을 사용합니다. 그 에 더하여, "스크러버 '는 고효율 의 액체 여과" 시스템' 을 갖추고 있어서 입자 와 다른 오염 물질 들 이 스크러빙 된 액체 에서 여과 되도록 한다. 스크러브 액체 (scrubbed liquid) 는 표면 과열을 방지하고 균일 한 스크러빙 공정을 허용하기 위해 스크러빙 헤드 (scrubbing Heads) 와 웨이퍼 (wafer) 표면을 식히는 데 사용됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 다양한 화학 용액으로 마스크 표면을 청소하는 데 사용될 수도 있습니다. 이것 은 가열 용액 "탱크 '의 사용 을 통하여 수행 되는데, 이" 탱크' 는 여러 가지 다른 화학 물질 을 저장 하여 필요 한 "스크러빙 '온도 로 가열 할 수 있다. 또한, 스크러버는 효율적인 청소를 보장하기 위해 폐쇄 루프 화학 솔루션 시스템을 갖추고 있습니다. "스크러버 '는 필요 한" 스크러빙' 동력 을 공급 하는, 조절 가능 한 통합 속도 의 "모터 '로 구동 된다. 통합 모터는 2 천 RPM에서 2 만 5 천 RPM에 이르는 스크러빙 전원을 제공하여 사용자가 스크러빙 요구 사항을 사용자 정의 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 최소 스크러빙 힘을 제공하여 스크러빙 시간을 줄이고 같은 영역을 여러 번 스크러빙하는 시간을 줄입니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼와 마스크를 동시에 스크러빙하여 전체 스크러빙 시간을 줄이고, 전체 프로세스를 보다 빠르고 편리하게 완료할 수 있습니다. 마지막으로, 스크러버 (scrubber) 는 내구성이 뛰어난 재료 패키지로 설계되어 긴 서비스 수명을 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 견고한 안전 시스템을 갖추고 있어 스크러빙 (scrubbing) 프로세스가 진행되는 동안 인원이 보호되도록 합니다. 전반적으로 ASC 500 은 효율적이고 안정적인 웨이퍼/마스크 스크러버로, 다양한 반도체 제조 공정에 사용할 수 있는 비용 효율적인 고성능 솔루션을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 빠르고 효율적으로 스크러빙할 수 있도록 설계되었으며, 조절 가능한 스크러빙 파워와 최대 청소 성능을 위한 통합 화학 솔루션 시스템이 있습니다.
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