판매용 중고 SSEC M3308 #9384024
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ID: 9384024
빈티지: 2013
Developer system
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 A, 60 Hz
2013 vintage.
SSEC M3308은 반도체 처리에 사용할 고급 반자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 의 청소 를 자동화 하여 스크러빙 과정 의 일관성 과 정확성 을 보장 하도록 설계 되었다. M3308 스크러버는 자동화된 (automated) 모드와 수동 (manual) 모드 모두에서 사용할 수 있는 유연한 인체 공학적 설계를 특징으로합니다. SSEC M3308에는 정확한 청소를 위해 2 개의 o-ring 벨트로 구동되는 조절 가능한 스크럽 패드가 장착되어 있습니다. 스크러빙을 보장하는 데 도움이되는 두 개의 왕복 헤드가 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 일관되고 통제 된 스프레이를 제공하는 스프레이 노즐 (spray nozzle) 을 특징으로하며, 스크러빙 솔루션의 균일 한 커버리지를 허용합니다. 또한 스크러빙 솔루션 (scrubbing solution) 과 클리너 (cleaner), 중화기 (neutralizer), 에찬트 (etchant) 와 같은 다양한 스크러빙 솔루션 (scrubbing solution) 에 대한 조정 가능한 유량을 가지고 있습니다. M3308에는 정확하고 반복 가능한 스크러빙 동작이 가능한 공압 스크러빙 장치도 있습니다. 공압 스크러빙 (scrubbing) 장치는 편리한 발 페달 (pedal) 에 의해 활성화되며, 이를 통해 핸즈프리 스크러빙을 할 수 있습니다. SSEC M3308 의 스크러빙 동작 (scrubbing motion) 을 조정할 수 있으므로 기본 제어판의 다이얼 (dial) 을 사용하여 스크러빙 압력을 높이거나 줄일 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 선속 (stroke speed), 스크럽 압력 (scrub pressure), 스크럽 볼륨 (scrub volume) 과 같은 스크러빙 매개변수와 나머지 양의 스크러빙 솔루션을 모니터링할 수 있는 대형 디지털 LCD 디스플레이가 있습니다. 또한 스크러버에는 비상 정지, 과장 방지, 고온 경보, 보호 강화를위한 금속 케이싱, ESD 안전 스크러빙 헤드 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. M3308은 직경 최대 8 인치, 마스크 최대 4 인치 크기의 웨이퍼 스크러빙을 처리 할 수 있습니다. 모듈식 시스템 (Modular System) 을 기반으로 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있습니다. 전체 시스템은 CE 및 UL 상장 및 인증을 받았으며, 어떠한 산업 환경에서도 안전하게 사용할 수 있습니다. 또한 SSEC M3308에는 모든 부품에 대해 2년 보증이 적용됩니다.
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