판매용 중고 SSEC M3307 #9203303

SSEC M3307
ID: 9203303
Stripper.
SSEC M3307 (SSEC M3307) 은 처리된 웨이퍼와 마스크를 효과적이고 효율적으로 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장비는 Silicon-on-Insulator (SOI), STI, DICE 및 CMP 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼 유형을 청소할 수 있습니다. 이 시스템은 고속 회전 브러쉬 (rotary brushe) 를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 각 모서리를 청소하는 동시에 고효율 스크러빙 공정으로 장치 양쪽에서 이물질과 입자를 제거합니다. 스크러버에는 회전 브러쉬 2 개와 정적 브러쉬 2 개가 장착되어 있으며, 하드 입자 스크래치 감소로 더 높은 웨이퍼 클리닝 속도가 생성됩니다. 또한, 기판의 압력 응용은 다른 청소 요구에 따라 조정 될 수있다. 이 장치에는 미크론 (micron) 수준의 입자를 제거함으로써 청소 과정을 개선하는 특허 필터 머신 (patented filter machine) 도 장착되어 있습니다. 이 고효율 필터링 도구는 크기13m 아래로 입자를 캡처하여 우수한 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 스크러빙 (mask scrubbing) 및 효과적인 입자 제거 기능을 제공합니다. 또한 "미디어 '나 화학 물질 이 필요 없이 청소 과정 을 수행 할 수 있다. M3307은 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 자산에는 클리닝 매개변수 (cleaning parameters) 의 전체 제어 및 모니터링을 위한 간단한 제어 캐비닛이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 빠르고 쉽게 조정할 수 있는 동시에 안전한 운영을 보장할 수 있습니다. 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 직경이 50mm ~ 450mm 인 다양한 웨이퍼 크기와 호환됩니다. 또한 일반 테스트 웨이퍼, 실리콘, 폴리 이미 드, 쿼츠 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 레이어 또는 레이어/테스트 웨이퍼 스크러빙을 활성화합니다. SSEC M3307 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 패브에 사용하도록 설계되었으며, 빠른 속도와 효율에서 깨끗하고 입자가 없는 웨이퍼와 마스크를 작동하도록 보장합니다. 반도체· 전자산업 성장에 이상적인 장비다. 첨단 기술과 기능으로, 광범위한 기판에 효율적이고, 비용 효율적이며, 신뢰할 수 있는 클리닝 솔루션을 제공합니다.
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