판매용 중고 SSEC M3303 #9164814

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ID: 9164814
Wafer scrubber (1) Spin chamber.
SSEC M3303은 자동 작동을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 기계에는 중앙 브러쉬, 전면 브러쉬 및 백 브러시로 구성된 3 개의 스크러빙 구획이 있습니다. 각 브러시는 볼륨 크기의 웨이퍼와 마스크를 청소하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 스크러빙의 크기 범위는 0.02mm ~ 15mm이며 표준 마스크의 경우 4 "~ 8" 입니다. 브러쉬는 조절이 가능하며, 웨이퍼 가장자리뿐만 아니라 단면 (single-side) 마스크와 양면 (double-side) 마스크의 앞면 및 뒷면을 스크러빙하는 데 사용할 수 있습니다. SSEC M 3303은 또한 스테이션 당 최대 2.5 분의 주기 시간을 가지며, 이는 주기 시간 상태를 나타내는 데 사용됩니다. 스크러빙 프로세스는 Wafer Mask Control Suite라는 PC 기반 소프트웨어 인터페이스로 관리되며, 각 스크러빙 구획을 정확하게 제어하고 유지 관리, 프로그래밍, 오류 추적을 위한 중앙 집중식 시스템을 제공합니다. 또한 진단/보고 기능 (Diagnostic and Reporting Features) 은 문제 영역을 파악하고 시스템의 전반적인 성능과 생산성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 스크러버는 일반적인 포토 마스크, 쿼츠, 모든 유형의 IC 기판, 거품 필름, 테이프, 필름 등 다양한 미디어를 청소할 수 있습니다. 컴퓨터에는 자동 재설정 기능 (automatic reset function) 이 있으므로 연산자가 모든 설정을 원래 출하 시 기본값으로 빠르게 재설정할 수 있습니다. 또한, 최적의 성능을 위해 주기 속도, 주기 수, 개별 브러쉬 속도와 같은 매개 변수를 수정할 수 있습니다. M3303 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 보호 기능을 추가하기 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 인클로킹 (interlock), 듀얼 포인트 도어 잠금 장치, 먼지 및 입자로부터 보호하기 위한 측면 및 상단 패널, 최대 스크러빙 효율을 보장하는 제로 클리닝 (Zero Cleaning) 혁신적인 모니터가 포함됩니다. 또한, 스크러버 및 그 구성 요소는 UL 및 CE 인증을 받았으며, 최적의 안전 및 품질을 보장합니다. 결론적으로 M 3303 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 다양한 크기와 유형의 웨이퍼와 마스크를 쉽게 청소할 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 조정 가능한 브러쉬와 PC 기반 소프트웨어 인터페이스를 통해 스크러버 (scrubber) 는 직관적이고 안정적인 설계로 정확한 청소 요구를 충족시킬 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 안전 기능 (Safety Features) 을 제공하여 운영 효율성과 보호 (Protection) 를 극대화하여 자동화된 스크러빙 작업을 위한 최적의 선택입니다.
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