판매용 중고 SSEC M3303 #9031262

SSEC M3303 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 자동, 완전 자동화 된 로봇 스크러버로 웨이퍼와 마스크에서 도달하기 어려운 틈새를 청소하고 스크러브하도록 설계되었습니다. 초현대적인 디자인과 매우 효율적인 성능으로 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 청소하고 스크러빙하는 효율적이고 친환경적인 방법을 제공합니다. SSEC M 3303 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 CNC 제어 장비와 함께 작동하여 작업을 계속하기 쉽고 안정적입니다. 400 볼트의 전력을 가진 3 개의 전기 모터로 구동되며, 최대 8 개의 웨이퍼와 4 개의 마스크를 동시에 처리 할 수 있습니다. 스크러버는 2 개의 개별 스테이션, 클린 스테이션 및 클리닝 스테이션으로 구성됩니다. 클린 스테이션 (Clean Station) 에서 각 웨이퍼와 마스크는 특허를받은 고속 초음파 클리닝 시스템을 사용하여 청소됩니다. 360도 설계를 통해 각 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 모든 표면이 효과적으로 스크러빙되고 표면 아래에도 있습니다. 공기 기포 는 물/비누 용액 에 노출 될 때 "웨이퍼 '와" 마스크' 표면 에서 제거 된다. 이렇게 하면 웨이퍼 및 마스크 서피스가 가능한 한 깨끗해집니다. 청소소 에서 "웨이퍼 '와" 마스크' 는 기계 스크럽 브러쉬 '장치 나 공기 "스크러버' 를 사용 하여 문지른다. 기계식 기계 는 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 표면 위 로 앞뒤로 진동 하는 작은 "브러쉬 '를 사용 한다. "브러쉬 '가 앞뒤로 움직 이면서, 그것 은" 웨이퍼' 나 "마스크 '의 표면 아래 갇혀 있던 모든 슬래그', 찌꺼기, 먼지 및 기타 입자 들 을 제거 한다. 공기 스크러버 (air scrubber) 는 진공 도구에 연결되어 기계식 스크러빙 (scrubbing) 중에 제거되지 않은 작은 입자를 제거합니다. M3303은 여러 보안 센서를 사용하여 안전을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 고장 또는 위험 조건이 감지되면 스크러버를 자동으로 종료하는 압력 센서가 포함되어 있습니다. 또한 모든 기계적 문제를 모니터링하고 필요한 경우 스크러빙 (scrubbing) 작업을 중지하는 자동 유지 관리 (automated maintenance) 기능이 포함되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 기계에 유지 보수가 필요한 경우 즉시 운영자에게 알릴 경고 에셋이 있습니다. 전반적으로 M 3303은 매우 효율적이고 안정적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 특허를받은 초음파 클리닝 모델 (Ultrasonic Cleaning Model) 과 듀얼 스테이션 설계 (Dual Station Design) 는 모든 클리닝 또는 스크러빙 애플리케이션에 적합하며, 고급 안전 기능은 항상 가장 최적화되고 안전한 방식으로 작동하도록 보장합니다.