판매용 중고 SSEC M3302 #293809841
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ID: 293809841
빈티지: 2005
Wafer cleaning system
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz, 30 A
2005 vintage.
SSEC M3302 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 매우 효율적이고 안정적인 웨이퍼 클리닝 장치입니다. 이 기계 는 입자 를 오염 시키고 "웨이퍼 '의 전체 질 을 향상 시키도록 설계 되었다. wafer 표면에서 유기 및 무기 미세 입자를 빠르고 효과적으로 제거하는 HIV (High-Impact Vacuum) 청소 프로세스를 사용합니다. SSEC M 3302 는 또한 Class 100 환경의 요구 사항을 충족하며 10 ~ 20 초 안에 웨이퍼를 완전히 청소할 수 있습니다. M3302의 주요 구성 요소는 High-Impact Vacuum 플러싱 헤드, 필터 스크린, manometer, 공기 흐름 모니터링을위한 통합 샘플링 포트 및 터치 스크린입니다. HIV 플러싱 헤드 (flushing head) 는 표면에서 모든 입자를 제거하기 위해 세척액의 미세한 안개를 웨이퍼에 뿌리는 수많은 노즐 (nozzle) 로 구성됩니다. 이 필터는 플러싱 헤드 (flushing head) 로의 백업 역할을하며 완전한 입자와 파편 제거를 보장합니다. 내장형 인체 모노미터 (manometer) 는 장치의 효과를 모니터링하고 적절한 기능을 보장하는 데 사용됩니다. 통합 샘플링 포트 (integral sampling port) 는 장치의 공기 흐름을 실시간으로 테스트하고 필요한 경우 수정합니다. 마지막으로, 터치 스크린 (touch-screen) 을 사용하여 청소 설정을 사용자 정의하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. M 3302 는 수동 웨이퍼 클리닝 (manual wafer cleaning) 의 필요성을 제거하여 완벽한 환경 보호 기능과 비용 절감 효과를 제공합니다. 오염 물질을 최소한으로 유지하는 능력은 반도체 (semiconductor) 와 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 제작자들 사이에서 대중적인 선택이되었습니다. 이 장치는 또한 자동 차단 (automatic shoff) 및 장애 안전 (failsafe) 작동을 통해 매우 안전하게 사용할 수 있습니다. SSEC M3302 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 매우 효율적이며, 일관된 스크러빙 결과를 제공하는 기능은 작고 섬세한 부품을 청소해야 하는 어플리케이션에 적합합니다.
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