판매용 중고 SSEC M3302 #293680722

SSEC M3302는 웨이퍼와 마스크에서 박막 레이어를 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 기계는 최첨단 사진 분석 기술을 사용하여 필름 레이어를 청소합니다. "스크러버 '는 조그마 한 면적 과 통합 건조 장비 에 맞추기 위한 소형" 스커프린트' 로 설계 되었다. "스크러버 '는" 리버스 에어 챔버' 를 이용 하여 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 표면 에 있는 "필름 '을 긁어내는 강력 한 공기 폭발 을 한다. 스크러버에는 정확하고 반복 가능한 공기 스트림을 생성하는 마이크로 프로세서 제어 노즐이 있습니다. 이렇게 하면 공기 흐름의 스크러빙 압력 (scrubbing pressure) 과 속도 (speed) 를 조정할 수 있습니다. 제어 시스템을 사용하면 주기 시간 (cycle time), 클리닝 영역 (cleaning area) 과 같은 클리닝 매개변수를 선택할 수도 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 기판 또는 마스크 청소를위한 고압 액체 노즐을 특징으로합니다. 이렇게 하면, 보다 철저 한 청소 를 할 수 있고, 웨이퍼 의 손상 을 줄일 수 있다. "스크러버 '에는 광저장제, 폴리이마이드, 산화물 등 여러 종류 의 층 에 대한 여러 가지 청소 용액 이 들어 있다. 스크러버 (scrubber) 는 청소하는 동안 웨이퍼 (wafer) 또는 기판을 배치하기 위해 웨이퍼 가이드 장치를 사용합니다. 이 가이드에서는 클리닝 프로세스 동안 웨이퍼가 제대로 배치되어 있는지 확인합니다. 또한 이 안내서 는 "웨이퍼 '가 주기 중 에 움직 이지 않고, 청소 중 에 손상 되지 않도록 한다. "스크러버 '는" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 적재 및 하역 을 돕기 위하여 자동화 된 기계 를 갖추고 있다. 스크러버 (scrubber) 는 다른 층을 정확하게 청소하기 위해 현미경, 분광계와 같은 다른 분석 도구와 연관 될 수도 있습니다. 마지막으로, 스크러버에는 안전하지 않은 환경에서 작동을 방지하는 안전 도구 (Safety Tool) 가 장착되어 있습니다. 간단히 말해서, SSEC M 3302는 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 박막 레이어를 고품질 청소할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 강력한 공기 청소를위한 리버스 에어 챔버 (reverse air chamber), 추가 청소를위한 액체 노즐, 웨이퍼 및 마스크 로드 및 언로드를위한 자동 에셋 (automated asset) 이 있습니다. 또한 안전한 작동을 보장하기 위해 안전 시스템이 장착되어 있습니다.