판매용 중고 SSEC M 2334 #293652698
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ID: 293652698
웨이퍼 크기: 12"
Flux cleaning system, 12", parts machine
Missing parts:
Chamber arm
HPC valves and pump
Paddle
Wet station assembly.
SSEC M 2334 (SSEC M 2334) 는 반도체 산업에서 젖은 공정 및 포토 마스크 시스템에서 입자, 오염 물질, 먼지를 제거하는 데 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "스크러버 '는 습식" 시스템' 과 건조 한 "시스템 '에서 작동 하도록 설계 되었으며" 웨이퍼' 나 "포토마스크 '표면 에 청소 액체 를 뿌려서 작동 시킨다. 청소 액체 는 입자 를 느슨하게 하고 제거 하는 한편, "웨이퍼 '나" 포토마스크' 에 표면 손상 을 줄이기 위한 윤활제 를 제공 한다. M 2334 스크러버에는 프리 소크 탱크, 스크럽 탱크, 린스 탱크 및 폐기물 탱크가 장착되어 있습니다. 사전 소크 (pre-soak) 탱크가 가열되어 스크럽 프로세스에 사용될 다양한 클리닝 솔루션을 제공합니다. 스크럽 탱크 (scrub tank) 는 스크러빙 동작이 발생하는 곳으로, 트랙을 따라 웨이퍼나 마스크를 움직이는 이중 회전 블레이드가 장착되어 있습니다. 날이 회전하면 표면에서 파편, 오염 물질, 먼지를 제거합니다. "린스 탱크 '는" 스크러빙' 과정 에서 남겨 놓은 잔기 와 입자 를 "린스 '절단 하도록 설계 되었다. 폐기물 탱크 (waste tank) 는 웨이퍼 (wafer) 나 마스크에서 제거 된 후 모든 입자와 오염 물질을 수집하는 곳입니다. SSEC M 2334 스크러버는 웨이퍼 및 포토 마스크 시스템에서 입자, 오염 물질, 먼지를 제거하기위한 안정적이고 효과적인 도구입니다. 리드 인터록 스위치 (lid interlock switch), 정지 마이크로 스위치 (stop micro switch), 온도 조절 (temperature control) 과 같은 안전 기능이 장착되어 안전하고 효과적으로 작동합니다. 스크러버에는 청소 솔루션 복구 펌프 (recovery pump) 와 디지털 디스플레이 (display) 가 포함되어 있어 스크러빙 프로세스를 모니터링하고 관리할 수 있습니다. 전반적으로, M 2334는 습하고 건조한 공정 시스템에서 입자, 오염 물질, 먼지를 청소하고 제거하는 데 효과적이고 신뢰할 수있는 스크러버입니다. 생산 환경 (Production Environment) 에 사용하도록 설계되었으며, 안전성 (Safety) 기능이 다양하여 안전하고 효과적으로 운영되고 있음을 보장합니다. 스크러버에는 디지털 디스플레이 (digital display) 와 복구 펌프 (recovery pump) 가 장착되어 있어 스크러빙 프로세스를 최적화할 수 있습니다.
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