판매용 중고 SSEC Evergreen Series II 202 #152068

SSEC Evergreen Series II 202는 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 가장 엄격한 청소실 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 202는 독특한 공기 흐름 공급 시스템을 사용하여 웨이퍼 파손을 방지하고 입자 축적을 줄입니다. 스크러버 (scrubber) 는 다양한 기능을 사용하여 다음과 같은 다양한 유형의 웨이퍼 및 마스크를 효과적으로 청소합니다. - 웨이퍼 및 마스크 크기의 정확한 결정을위한 이중 헤드 스핀들 (Double-head spindle). - 각 웨이퍼 또는 마스크의 양면을 균일하게 청소하기 위해 인체 공학적으로 설계된 압력 패드 (pressure pad). - 측면 안내선을 사용하여 횡단 동작을 줄이고 수율을 향상시킵니다. - x-y-z 축에서 스크러버를 움직이는 6 축 로봇 제어 암 (6 축) 을 사용하여 클리닝 헤드의 정확한 위치와 작동을 허용합니다. 202는 이중 단계 웨이퍼 클리닝 기술을 사용하며, 먼저 교정 된 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 사용하여 선택적 클리닝 솔루션으로 파편과 오염 물질을 부드럽게 제거합니다. 예비 청소 후, 스크러버는 깊은 청소를 위해 고강도 초음파 공동을 사용하며, 입자를 분리하고, 완전한 청소 용액으로 씻습니다. 청소 과정이 완료된 후, 202는 별도의 저수지에서 2 개의 시한 용매 스트림 (timed stream) 과 초순수 물 (ultra-purure water) 을 사용하는 특허 된 린스 시스템으로 웨이퍼 또는 마스크를 린스합니다. 202는 또한 스크러버 (scrubber) 의 작동을 모니터링하고 불규칙성을 발견하면 신호를 보내는 여러 센서 (sensor) 를 포함하여 강력한 안전 기능 세트를 제공합니다. 또한, 프로세스를 즉시 중지하는 수동 긴급 차단 스위치가 있습니다. 에버그린 시리즈 II 202 웨이퍼 (Evergreen Series II 202 wafer) 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 다양한 민감한 어플리케이션에 이상적인 솔루션을 제공하여 최고 수준의 클린 룸 기술을 충족하도록 설계되었습니다. 202는 고급 (advanced) 기능의 독특한 조합을 활용하여 강력하고 효율적인 클리닝을 제공하는 반면, 안전성 (Safety) 기능은 안전하고 안정적인 운영을 보장합니다. 신뢰할 수있는 웨이퍼 스크러빙 솔루션이 필요한 청소실 운영자의 경우 SSEC Evergreen Series II 202가 훌륭한 선택입니다.