판매용 중고 SSEC Evergreen M200 #116501
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ID: 116501
Cleaner parts system
Spin station not functional, does not rotate
One chemical tank missing.
SSEC Evergreen M200은 SSEC (Semiconductor Equipment Engineering Corporation) 에서 개발 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. Evergreen M200은 고정밀 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 고성능 마스크 스크러빙 및 클리닝을 제공합니다. 스크러버의 디자인은 스크러빙 동작 (scrubbing action) 과 스크러빙 속도, 온도 및 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. SSEC Evergreen M200은 가혹한 환경에서 웨이퍼 및 마스크 스크러빙을 위해 설계되었습니다. 장시간 사용되도록 설계된 견고하고 스테인레스 (Stainless) 스틸 프레임이 장착되어 있어 불리한 상태를 견딜 수 있습니다. 이 장치에는 진공 포트 (vacuum port) 와 조절 가능한 암 (arm) 위치가 제공되어 스크러빙 부품을 정확하게 정렬할 수 있습니다. Evergreen M200에는 고급 스크러빙 장비와 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 DSC (Data Unit Controller), 스크러빙 모터, 디지털 압력 제어, 온도 조절 및 스크러빙 헤드 실행 속도 설정 (옵션) 이 있는 디지털 스크러빙 시스템이 포함됩니다. 스크러버에는 공랭식 스크러빙 탱크와 자동 버블 검출기가 장착되어 있습니다. SSEC Evergreen M200 스크러빙 프로세스는 발전기로 구동되며, 이 프로세스는 일정하고 안정적인 전원을 제공합니다. 발전기는 또한 조절 가능한 스크러빙 속도 (scrubbing speed) 와 조절 가능한 스크러빙 압력 (scrubbing pressure) 을 제공하며, 이를 통해 사용자는 처리 중인 웨이퍼 및 마스크에 따라 최적의 스크러빙 속도를 선택할 수 있습니다. 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 머신에는 정교한 거품 감지 도구가 있습니다. 이 에셋은 초음파 센서를 사용하여 스크러빙 (scrubbing) 거품을 감지하고 사용자에게 알립니다. Evergreen M200에는 탁월한 환경 보호 기능도 있습니다. 배출량을 줄이기 위해 워터 트랩 (water trap) 과 배기 필터가 장착되어 있습니다. 스크러버는 또한 모든 적용 가능한 ISO 14001 환경 표준을 충족합니다. 마지막으로 SSEC Evergreen M200은 반도체 제조업체를 위해 설계된 사용하기 쉬운 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 매우 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적이며, 마스크 스크러빙 (scrubbing) 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션입니다.
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