판매용 중고 SSEC Evergreen 50 #161265

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ID: 161265
웨이퍼 크기: 8"
Mask and wafer scrubber, 8" Cassette to cassette spin developer PC Controller with pull down menus for controlling all process parameters User specific routines or recipes are stored on hard drive.
SSEC Evergreen 50 Wafer & Mask Scrubber는 반도체 제조를위한 고성능 장비로, 가장 까다로운 반도체 제작 및 연구 개발 활동을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 우수한 청소, 랩핑, 연마 및 스크러빙 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 에버그린 50 (Evergreen 50) 은 웨이퍼와 마스크를 최대 8 인치 크기의 웨이퍼 및 주요 플랫 응용 프로그램으로 처리 할 수있는 다용도 장치이며 실리콘, SOI, GaAs, SiGe, INP 등 다양한 웨이퍼 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 최대 16,000 RPM의 속도로 작동하도록 설계되었으며, 광범위한 클리닝 및 연마 미디어, 패드, 광택을 통해 최대 1.2 m/m의 높은 제거 속도를 제공합니다. SSEC Evergreen 50은 HiFlo ™ Multi-Station 원형 공기 흐름 및 액체 원자 화 플랫폼을 갖추고 있으며, 청소 공정의 프로세스 제어, 반복 가능성 및 미세 튜닝이 가능합니다. 제어 도구에는 Fusion ™ 소프트웨어 패키지 및 원격 제어 작업이 있는 PHS Group 서보 드라이브가 포함되어 있습니다. 새롭게 개발된 SSEC ISB (Integrated Bearing Asset) 는 탁월한 견고성, 정확성 및 반복성을 제공하여 동적 오류를 줄이고 표면 품질을 향상시킵니다. 통합 베어링 모델과 동급 최강의 설계 자격 증명으로 기존의 베어링 포지셔닝 (bearing positioning) 부정확성이 없어서 평면도 및 결함 제어가 향상되었습니다. 에버그린 50 (Evergreen 50) 은 플러그 앤 플레이 (plug-and-play) 기능을 위해 설계되었으며 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 볼, 마스크 카세트 등 다양한 액세서리와 함께 번들로 제공되어 웨이퍼와 마스크를 빠르고 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. SSEC 에버그린 50 (Evergreen 50) 은 뛰어난 성능과 더불어 뛰어난 광학 및 열 특성과 낮은 전력 소비율을 제공하며, 둘 다 운영 비용을 최소화합니다. 이 장비는 ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors) 를 포함하여 가장 까다로운 사양을 충족시켜 안정적이고 일관된 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 결론적으로, Evergreen 50은 가장 도전적인 반도체 제작 및 연구 개발 응용 프로그램을 위해 설계된 고급, 고성능 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 워퍼 클리닝 (wafer cleaning), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 에 이상적인 선택으로, 전력 소비가 적고 뛰어난 광학 및 열 특성을 통해 우수한 클리닝 및 연마 결과를 제공합니다. 이 모든 것이 SSEC Evergreen 50을 반도체 제작 전문가에게 최고의 선택으로 만듭니다.
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