판매용 중고 SSEC Evergreen 300ML Series III #9230467

SSEC Evergreen 300ML Series III는 포토 마스크, 레티클 및 기타 플랫 LSI 구성 요소의 청소 및 준비를 위해 설계된 완전 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버에는 개별적으로 교정 및 제어 가능한 청소 및 스크러빙 작업을 제공하는 2 개의 별도의 클리닝 챔버가 장착되어 있습니다. 첫 번째 인 인젝션 (Injection) 과 린스 챔버 (Rinse Chamber) 는 주입 방법을 사용하여 액체를 보충하고 스크러버의 청소 동작에 전원을 공급합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 전자적으로 조절 가능한 백 압력 밸브 및 노즐 (nozzle) 이 장착되어 있으며, 사용자가 유체 분포를 정확하게 제어하고 변경할 수 있으며, 웨이퍼 표면에 입자 재분배를 최소화하면서 청소 효율성을 극대화합니다. 두 번째 챔버는 마스크 및 웨이퍼 챔버 (Mask and Wafer Chamber) 로, 마스크와 웨이퍼 모두에 청소 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 챔버에는 2 단계 스크러버 메커니즘이 포함되어 있으며, 동시 소형 습식 스크러빙 및 풀 표면 습식 스크러빙, 전해석 플라즈마 아크 청소 및 가속 린싱 동작이 제공됩니다. 2 단계 스크러버 메커니즘은 특수 청소 패턴을 허용하도록 자유롭게 조정할 수 있으며, 유연하고 매우 효과적인 청소 프로세스를 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 입자 보기 창이 추가되어 입자 크기와 양을 모니터링할 수 있습니다. 스크러버는 또한 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 설치되며, 쉽게 작동하고 원격 설정을 단순화합니다. 자가 진단 (self-diagnosis) 을 위해 설계되었으며 작동 및 안전 모니터링을위한 여러 경보가 있으므로 스크러버는 편리하고 안전하게 작동 및 유지 관리 할 수 있습니다. 전반적으로 Evergreen 300ML Series III Wafer 및 Mask Scrubber는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 청소 프로세스를 제공하여 준비 프로세스 동안 구성 요소의 최고 품질을 보장합니다. 자동화된 컨트롤과 풍부한 특징을 갖춘 이 강력한 스크러버 (scrubber) 는 포토 마스크, 레티클 (reticle) 및 기타 연약한 LSI 구성 요소를 청소하고 준비하는 데 필요한 정밀성과 균일성이 필요한 다양한 산업에 이상적인 선택입니다.