판매용 중고 SSEC Evergreen 202 series II #16914

SSEC Evergreen 202 시리즈 II는 정교한 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 반도체 웨이퍼 및 리소그래피 마스크의 고정밀 청소를 위해 특별히 설계되었습니다. 청정실 마스크· 웨이퍼 등에서 입자 오염을 안정적으로 제거할 수 있는 "다용도 '고속 단위다. 이 스크러버에는 고속 회전 브러시 헤드와 다양한 브러시/패드 (brush/pad) 옵션이 장착되어 있습니다. 스크러버 (스크러버) 는 브러쉬 속도, 선 길이, 압력 (압력) 을 자동으로 조정하도록 프로그래밍되어 기판 재료에 대한 최적의 클리닝 매개변수를 항상 유지할 수 있습니다. "브러쉬 '머리 는 기판 크기 와 모양 에 맞추어 조정 할 수 있으며, 완전 한" 커버리지' 와 고른 "클리닝 '효과 를 보장 해 준다. 스크러버는 또한 통합 된 듀얼 스테이지 HEPA (High-Efficiency Particulate Air) 여과 시스템을 특징으로하며, 스크러빙 과정에서 발생하는 미립자 물질을 제거하고 오염이없는 청소실 환경을 보장 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 또한 자동 제로링 (auto-zeroing) 기능이 있으며, 이는 일관된 클리닝 패턴을 보장하며 기판 재료의 긁히거나 번짐을 방지합니다. 스크러버 (scrubber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 및 기타 부식 내성 합금으로 구성되어 있으며, 내구성이 높고 작동 마모 및 눈물에 강합니다. 또한, 센서와 컨트롤 시스템 (Control System) 은 스크러버 성능에 대한 정확한 피드백을 제공하기 위해 설계되었습니다. 따라서 서비스 수명을 극대화하기 위해 모니터링하고 최적화 할 수 있습니다. 또한 Evergreen 202 시리즈 II는 사용하기 쉬운 제어판, 사용자 정의 설정, 실시간 스크러빙 데이터 등 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 이 "스크러버 '는" 웨이퍼' 와 리소그래피 마스크 를 자동화 하고, 반복 하고, 신뢰 할 수 있는 청소 에 이상적 이며, 일상적 인 것 과 산업적 인 청소 필요 에 적합 하다.