판매용 중고 SSEC 3308 #9398829

SSEC 3308
ID: 9398829
웨이퍼 크기: 8"
Coater / Developer system, 8".
SSEC 3308은 반도체 공정에서 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 웨이퍼의 연마되고 가공 해제 된 표면에서 다양한 습식 스크러빙 및 클리닝 작업을 위해 설계되었습니다. 3308 은 "웨이퍼 '의 표면 에" 입자' 와 불순물 이 없도록 조정 하는 데 사용 된다. SSEC 3308에는 주 스크러버와 버킷의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 메인 스크러버는 2 개의 8 "진공 알루미늄 스크러버와 2 개의 6" 스크러버로 구성됩니다. 이 스크러버는 웨이퍼 바로 위에 장착되며 0.8 갤런 용량입니다. 버킷은 4 갤런 스테인레스 스틸 보울입니다. 이 버킷은 스크러빙 과정에서 제거 된 미립자 파편을 포획하는 데 사용됩니다. 이 기계는 직경 8 인치까지 웨이퍼를 스크러빙 할 수 있으며 300 와트 가열 요소를 가지고 있습니다. 정확한 온도 조정이 가능한 디지털 온도 제어가 장착되어 있습니다. "웨이퍼 '표면 은" 브러쉬' 로 된 스크러빙 공정 을 사용 하여 철저 하게 청소 한 다음, "프로그램 '할 수 있는" 스프레이 밸브' 를 넣어 절단 한다. 다른 기능으로는 디지털 타이머 및 풋스위치 제어가 있습니다. 최적의 청소 결과를 내기 위해 3308은 특수 물 재활용 장비로 설계되었습니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 표면 과 "마스크 '를 신속 하고 효율적 으로 청소 할 수 있도록 서로 분리 된 네 개 의 구획 으로 이루어져 있다. 물은 조정 가능한 스프레이 매니 폴드 (spray manifold) 와 필터 (filter) 를 통해 다시 순환되어 청소 환경이 오염되지 않도록 합니다. SSEC 3308은 안정적이고 사용하기 쉽기 때문에 모든 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 (scrubbing) 작업에 적합합니다. 또한 재활용 장치 (recycling unit) 와 필터링 머신 (filtering machine) 이 물 손실을 방지하고 장치 사용을 최적화하므로 비용 효율적입니다. 마지막으로, 조정 가능한 온도 및 타이머 기능을 사용하면 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 및 마스크에 대한 최적의 클리닝 환경을 만들 수 있습니다.
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