판매용 중고 SSEC 3302 #9225599
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ID: 9225599
웨이퍼 크기: 6"
Single wafer chemical etcher, 6"
(2) Wafer processing modules
Acid processing
Stainless steel construction
(2) Wafer elevators
PC Controller
CE Marked
Power: 220 V, 3 Phase, 60 Hz, 30 A.
SSEC 3302는 SSEC (Service Systems) 회사에서 제조 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는" 웨이퍼' 와 "마스크 '에서 입자 와 파편 을 깨끗 하고 효율적 으로 제거 하기 위하여 반도체 제조 시설 에 사용 하도록 설계 되었다. 3302는 두 가지 주요 단계로 구성된 강력하고 효과적인 스크러빙 프로세스를 가지고 있습니다. 스크럽과 건조. 첫 단계 에 "웨이퍼 '나" 마스크' 가 "스크러버 '에 실린다. 그런 다음 스크러버 (scrubber) 는 수평 및 원형 스크러빙 동작의 조합을 사용하여 프로세스를 시작합니다. 이것 은 "웨이퍼 '나" 마스크' 표면 에서 입자 와 오염 물질 을 제거 하는 데 매우 효과적 인 스크러빙 작업 을 발생 시킨다. 또한, 고압 스프레이 장비 (high-pressure spray equipment) 는 이온화 된 물을 웨이퍼와 마스크에 전달하여 청소 효능을 더욱 향상시키는 데 사용됩니다. 스크러빙 프로세스가 완료되면 SSEC 3302의 두 번째 단계가 시작됩니다. 이것이 건조 과정입니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 는 건조 "플랫폼 '으로 옮겨지고 건조" 가스' 는 "시스템 '을 통하여 강제 로 사용 된다. 건조 "가스 '는 수분 을 제거 하고 정결 하게 하고 제조 과정 에 사용 할 준비 를 갖추기 위하여" 웨이퍼' 나 "마스크 '에서 남아 있는 물 분자 를 증발 시키기 위하여 작용 한다. 3302는 최고의 성능 및 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 저전압 전원 공급 장치 (Low Voltage Power Supply), 전기 위험 (Electrical Hazard) 을 방지하기 위한 절연 부품 (Insulated Part) 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 스크러빙 메커니즘에는 청소 중에 입자와 오염 물질을 효과적으로 제거하기위한 진공 보조 장치 (Vacuum Assistance Unit) 도 포함됩니다. 또한 SSEC 3302에는 작동 중 스크러버의 동작 및 방향을 추적하는 6 축 센서 머신이 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 안전 하고 정확 하게 문지르면 매번 최적의 결과 를 얻을 수 있다. 3302 스크러버는 반도체 제작에 유용한 도구입니다. 강력한 스크러빙 (scrubbing) 과 건조 공정 (drying process) 은 웨이퍼와 마스크에서 입자와 오염물을 제거하는 데 매우 효율적이고 효과적입니다. 또한, 포괄적인 안전 기능으로 인해 SSEC 3302는 모든 청소실 환경에 이상적인 선택입니다.
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