판매용 중고 SSEC 3300 #9308967

SSEC 3300은 Semes, Inc.에서 개발 한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 매우 순수하고 먼지가없는 기판과 마스크를 제공합니다. 스크러버는 고압, 이온화, 여과 된 물을 사용하여 반도체 장치의 생산으로 인한 표면 오염 및 물질 축적을 제거합니다. 3 단계 청소 과정은 진동 스프레이 바, 진공 롤러 및 스핀 어시스트로 구성됩니다. 진동 스프레이 바 (Oscillating Spray Bar) 는 균일 한 수압과 뚜렷한 스프레이 패턴을 만들어 청소 과정에서 첫 번째 단계에서 미세 먼지 입자 및 기타 입자 잔기 (particulate residue) 를 일시 정지 및 신속하게 제거하는 데 도움이됩니다. 강렬한 스프레이 패턴과 조절 가능한 수압 설정을 사용하여 3300은 한 번에 최대 150 개의 웨이퍼를 효과적으로 청소 할 수 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 의 두 번째 단계는 조정 가능한 진공 롤러를 사용하여 웨이퍼 표면에 남아있는 잔류 물을 조심스럽게 제거합니다. "로울러 '는 입자 나 먼지 를 붙이지 않고 지표 를 깨끗 하게 두도록 설계 되었다. 또한 "브러쉬 '는 더욱 어려운 입자 들 에 사용 될 수 있는데, 그것 은 부가적 인 청소 가 필요 할지 모른다. 마지막으로, 스크러빙의 세 번째 단계는 스핀 어시스트 (spin assist) 를 사용하여 완고한 미립자 빌드 업을 끊고 들어 올리는 것입니다. 스핀 어시스트는 가변 속도에서 사용되어 어려운 오염을 제거 할 수 있습니다. 또한 청소 "에이전트 '의 균등 한 분포 나 청소 된" 웨이퍼' 의 "린스 '를 보장 한다. 스크러버 (scrubber) 는 저항계에 의해 제어되는 다양한 전도성 (conductivity) 에서 라인, 필터링 및 이온화 된 물의 물을 사용하도록 설계되었습니다. SSEC 3300은 생산 중 공기 입자, 먼지, 오해 등으로 인한 오염에 노출 된 웨이퍼와 마스크를 긁는 데 이상적입니다. 스크러버 (scrubber) 는 손쉬운 작동과 간편한 유지 관리를 통해 클리닝 정확성과 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 자동 사이클 타이머 (Automated Cycle Timer), 저수 모니터링 기능, 조정 가능한 수동 린스 시스템 (Manual Rinse System) 이 장착되어 있어 청소 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다.