판매용 중고 SSEC 3300 #9225597

SSEC 3300은 Suss MicroTec, Inc.에서 제조 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 장치 제작 과정에서 포토레시스트 (photoresist) 를 적용하기 전에 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 표면 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 3300은 초 소닉 (ultra-sonic) 과 제트 스크러빙 (jet scrubbing) 기술의 조합을 사용하여 기판에 대한 최소한의 손상으로 고품질의 결과를 얻습니다. SSEC 3300은 5.5kW의 전력 소비량과 3.2MPa의 정격 압력으로 작동합니다. 최대 128 개의 다른 클리닝 주기 설정과 5 개의 노즐 구성으로 구성된 클리닝 변수를 제공합니다. 이 장치에는 조절 가능한 진동 주파수가 장착되어 있어 스크러버 (scrubber) 매개변수를 잘 제어합니다. 스크러버는 직경 200mm 클리닝 베드로 설계되었으며 용량은 최대 20 웨이퍼/마스크입니다. 또한 웨이퍼를 적재 및 언로드하기위한 3 축 로봇 팔이 있습니다. 3300은 터보 분자 진공 펌프 (turbomolecular vacuum pump) 를 사용하여 닫힌 챔버에 높은 수준의 진공을 생성합니다. 이것은 스크러빙 (scrubbing) 과정에서 입자, 파편 및 기타 작은 입자가 웨이퍼에서 완전히 제거되도록 하는 데 필요합니다. 진공 기능은 또한 스크러빙 솔루션을 표적 영역으로 밀어냅니다. 이것 은 "스크러빙 '과정 을 매우 효과적 으로 만들어 주며, 남아 있는 멸균" 포켓' 이 없도록 한다. "스크러버 '의 압력 조절 장비 는 매 주기 에" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 전체 표면 에" 스크러빙' 압력 을 분배 하기 까지 하도록 설계 되었다. SSEC 3300에는 모니터링 시스템 (monitor system) 도 있으며, 이 시스템은 작동 압력, 흐름 속도, 온도 등의 매개변수에 대한 정확한 모니터링을 제공합니다. 이는 일관된 고품질 결과를 보장합니다. 3300은 스크러버의 모든 매개변수를 제어하고 모니터링하기 위해 프로그래머블 (programmable) 논리 컨트롤러로 설계되었습니다. 따라서 일관된 결과와 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한이 장치에는 방사선 살균을위한 고급 UV LED 장치가 있습니다. 이 기계는 스크러빙 후 웨이퍼와 마스크를 살균하고, 오염을 최소화하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로, SSEC 3300은 장치 제작 중에 포토 esist를 적용하기 전에 오염을 줄이기 위해 설계된 효과적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 첨단 기술로 뛰어난 표면 클리닝 (surface cleaning) 과 정확한 매개변수 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 효율적인 운영, 일관된 결과, 고품질 마감 기능을 제공하도록 설계되었습니다.