판매용 중고 SSEC 3300 #9205591

ID: 9205591
빈티지: 2011
Single wafer etcher 2011 vintage.
SSEC 3300 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (SSEC 3300 wafer & mask scrubber) 는 반도체 제조 및 기타 정밀 코팅 프로세스에 사용하도록 설계된 자동 클리닝 시스템입니다. 그것 은 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 표면 에 계속 공급 되는 섬세 한 "스크러빙 '유체 를 사용 하여 철저 하고 효율적 인 청소 과정 을 제공 한다. 이 장치 는 여러 가지 방법 을 제공 하여, 각기 다른 재료 와 목적 을 위해 적절 한 "클리닝 '과정 을 수행 한다. 3300 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (wafer & mask scrubber) 는 최신 기술을 기반으로 통합된 설계를 제공하며 빠르고 효율적인 작동을 위해 최적화되었습니다. 설계에는 클리닝 성능을 극대화하고 주기 시간 (cycle time) 을 최소화하는 데 도움이 되는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 다양한 유형의 기판 및 청소 응용 프로그램에 대한 스크러빙 프로세스를 조정하기 위해 조정 가능한 흐름, 압력 및 회전 속도 설정을 갖춘 독특한 스크러빙 유체 전달 시스템 (scrubbing fluid delivery system) 을 갖추고 있습니다. 또한, 스크러버는 청소 프로세스를 모니터링하고 규제하기위한 실시간 제어 패널을 제공합니다. "스크러버 '는 여러 가지 형태 의 표면 오염 물질 을 효과적 으로 제거 하기 위하여 기계적· 화학적 청소 작용 을 이용 한다. 기계적 인 "스크러빙 '작용 은 기판 의 표면 에 접하게 되는 회전 하는 부드러운" 브러쉬' 에 의하여 이루어진다. "브러쉬 '강모 는 표면 파편, 먼지, 오염 물질 을 제거 하기 위해 문지르는" 패드' 처럼 작용 한다. 청소 과정 을 개선 하기 위해 다양 한 "스크러빙 '유체 를 사용 할 수 있다. 그런 다음, 스크러빙 유체 (scrubbing fluid) 는 스크러버 둘레 주변의 제트기를 통해 기판 표면에 강요됩니다. 청소 면 에서 표면 파편 과 오염 물질 을 누르고 "플러시 '하고, 그 뒤 에 남아 있는 모든 잔류 물 에서 기질 의 표면 을 깨끗 이 한다. 그런 다음, 긁는 액체 를 빨리 빼내어, 들어 올린 흙, 먼지, 오염 물질 을 가지고 간다. SSEC 3300 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (wafer & mask scrubber) 에 사용되는 기계 및 화학 청소 공정의 조합은 뛰어난 청소 품질과 효율적인 작동을 초래합니다. 이 장치는 또한 스크러빙 유체 (scrubbing fluid) 가 낮은 경우 자동 차단 (automatic shoff) 을 포함하여 다양한 고급 안전 기능을 제공하여 섬세한 기판 및 덮개를 손상시킬 염려없이 사용할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 디자인, 소형 크기, 뛰어난 클리닝 효율성을 갖춘 3300 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (wafer & mask scrubber) 는 모든 반도체 또는 정밀 코팅 어플리케이션에 적합한 선택입니다.
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