판매용 중고 SSEC 3300 #293593176

SSEC 3300 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (SSEC 3300 wafer & mask scrubber) 는 섬세한 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크 공백에서 입자 오염을 제거하는 데 사용되는 고정밀 자동 청소 장비입니다. 이 시스템은 고급 로봇, PLC 컨트롤러 및 PC 인터페이스로 설계되어 클리닝 일관성과 정확성을 거의 보장합니다. 3300은 두 가지 스크러빙 기술 중 하나 인 접촉 스크러빙 또는 현지화 된 스크러빙을 사용합니다. 컨택트 스크러빙 (Contact Scrubbing) 프로세스는 지정된 경로를 따라 이동하도록 설계된 미리 프로그래밍 된 CNC 소프트웨어에 의해 제어되는 여러 로봇 암을 사용합니다. 각 팔 이 원하는 길 을 따라 움직 이면서, "로봇 '암 끝 에 장착 된" 스크러빙 헤드' 는 "로울러 스퀴기 '를 사용 하여" 웨이퍼' 에서 미립자 를 제거 한다. 현지화 된 스크러빙 (scrubbing) 은보다 정확하고 포인트 소스 스크러빙 프로세스로, 일반적으로 포토 마스크 공백 (photomask blank) 과 같은 매우 섬세한 기질의 기계적 청소에 사용됩니다. 현지화 된 스크러빙 (scrubbing) 에서 스크러빙 액션은 여러 개의 작은 클리닝 마이크로 워슬릿 (micro-washlet) 이 장착 된 고정 장착 스크러빙 헤드에서 생성됩니다. 또한, 국소화 된 스크러빙 (scrubbing) 은 공정이 기판을 손상시킬 확률을 더욱 최소화하기 위해 매우 저온 (일반적으로 동결 직전) 에서 발생할 수있는 얼음 냉각 기능을 제공합니다. 두 과정 모두, 신선 한 액체 를 도입 하고, 사용 된 "액체 '와 입자 파편 을 제거 하는 재순환 장치 를 통해, 액체 청소" 솔루션' 을 스크러빙 헤드 '에 전달 한다. 사용 된 액체는 내장 여과 기계를 통해 청소되고, 스크러빙 공정으로 다시 도입된다. SSEC 3300은 웨이퍼 크기, 형상, 화학 호환성, 공구 변경 및 화학 농도에 완전한 유연성을 제공합니다. 이 도구는 개별 사용자 사양에 맞게 쉽게 조정할 수도 있습니다. 종합적인 통신· 운영자 알림시스템과 결합하면 3300 은 안정성이 높고, 정밀도가 높다. 특허를 획득한 SSEC 3300 설계로 인해 사용자 생성 오류가 종종 수동 시스템과 연관됩니다. 또한, 자동화된 청소 프로세스는 청소 주기를 수행하는 데 필요한 전체 연산자 시간을 크게 단축시켜, 귀중한 자원을 절약합니다. 또한, 화학적 농도 및 스크러블 액션을 최적화하면 더 깨끗한 웨이퍼, 더 긴 부품 수명, 확장 된 공구 수명이 발생합니다. 그 결과, 신뢰성, 유연성, 우수한 결과 때문에 많은 사용자가 3300을 선호하고 선호합니다.