판매용 중고 SSEC 3300 #161552

SSEC 3300은 얇고 연약한 표면을 청소하고 벗기도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 대용량 고속 스크러버로, 한 번에 최대 150 개의 웨이퍼 또는 30 개의 마스크를 처리 할 수 있습니다. 펠트 (felt) 와 클로즈드 루프 워터 시스템 (closed-loop water system) 과 같은 부드러운 비 연마 재료로 만든 연마 디스크를 사용하여 제어되고 일관된 청소 동작을 제공합니다. 연마제 (abrasive disk) 는 수직 축으로 회전하며, 5 속도로 조정할 수 있으며, 오염 물질을 제거하는 동안 표면 손상을 방지하기에 충분히 부드러운 사용자 정의 (customized) 청소 동작을 가능하게 합니다. 3300 년의 디자인에는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 에 묶여 물 기반 청소 용액이 뿌려진 원형 스크러버 헤드가 포함되어 있습니다. 이 스크러빙 액션은 조절 가능한 샤워 노즐 (shower nozzle) 에 의해 보충되어 압력 방출, 제어 및 일관성 있는 청소를 가능하게합니다. 스크러버에는 효율적인 처리를 위해 고속, 액체 냉각 모터가 있으며, 최대 스크러버 회전 속도는 최대 36,000 RPM입니다. SSEC 3300에는 타이밍 제어 주기가 최대 3 개인 타이머 (timer) 가 있어 정확하고 반복 가능한 청소가 가능합니다. 독립 물 "밸브 '를 이용 하면 스크러빙 (scrubbing) 흐름 을 쉽게 제어 할 수 있으므로, 원하는 청소 결과 를 달성 하기 위하여 서로 다른 농도 의 청소 용액 을 이용 할 수 있다. 흐름 속도 를 모니터링 할 수 있는 압력 "게이지 '를 사용 하여" 스크러빙' 력 과 압력 을 제어 할 수 있다. 3300은 비 스키드 베이스 (non-skid base), 스크러버가 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 없이 작동 할 때 자동 차단 (automatic-off) 용 안전 스위치, 적절한 건조와 방수 지점을 방지하기 위해 내장 건조기 등 안전성을 위해 설계되었습니다. 또한, "스크러버 '는 수계 에서" 에탄올' 오염 을 확인 하기 위하여 적절한 환기 및 "알코올 '탐지 를 보장 하는 배기 장치 를 가지고 있다. 전반적으로, SSEC 3300은 섬세한 표면에서 원치 않는 오염 물질을 효율적이고, 안전하며, 부드럽게 제거 할 수있는 고성능, 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 조절 가능한 속도, 압력, 액체 냉각 모터의 조합으로 모든 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 클리닝 (mask cleaning) 절차에 이상적인 선택이 가능합니다.