판매용 중고 SSEC 3204 #9032546
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SSEC 3204 (SSEC 3204) 는 반도체 에칭, 리소그래피 및 기타 프로세스에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (scrubber) 로, 디스크와 플랫 기판의 표면에서 오염 물질을 제거해야합니다. 스크러버는 기계식 헤드, 제어 장비, 주택의 세 부분으로 구성됩니다. 기계적 인 머리 는 회전 하는 팔 인데, 그 팔 은 보호용 주택 에 싸여 있습니다. 팔은 브러시 모양의 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 에 붙어 있으며, 빠르게 회전하여 웨이퍼와 마스크를 효과적으로 청소합니다. 스크러빙 헤드는 응용 분야에 따라 다양한 재료로 구성됩니다. 많은 사람 들 은 "나일론 '이나 다른 중합체 로 만들어져 있는데, 그것 은 표면 자체 를 손상 시키지 않고 오염 물질 을 문지르도록 설계 되었다. 기계식 헤드 (mechanical head) 에는 스크러빙 프로세스를 원격으로 관리 및 모니터링할 수있는 센서가 포함되어 있습니다. 스크러버의 제어 시스템은 스크러빙 프로세스를 지속적으로 모니터링하는 마이크로 컨트롤러 (microcontroller) 로 구성됩니다. 제어 장치는 중앙 위치에서 스크러빙 (scrubbing) 설정을 설정하고 모니터링할 수 있는 USB 연결 (USB 연결) 을 포함하여 여러 개의 연결로 구성됩니다. 또한 Control Machine 에는 원격으로 활성화할 수 있는 다양한 안전 기능 (예: RPM 규정 및 긴급 종료) 이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 3204의 주택은 소음과 먼지를 최소화하도록 설계되었습니다. 주택 은 여러 개 의 연결 된 금속 "시트 '로 이루어져 있으며, 낮은 먼지 와" 시이즈' 를 만들어 낸다. 그 에 더하여, 주거지 에는 여러 개 의 "필터 '가 갖추어져 있어서, 스크러빙' 과정 중 에 만들어진 먼지 가" 스크러버 '주거지 안 에 완전 히 들어 있다. 전반적으로, SSEC 3204는 웨퍼 및 마스크 스크러빙을위한 안정적이고 사용하기 쉬운 도구로 설계되었습니다. 내구성이 뛰어난 기계식 스크러빙 헤드 (scrubbing head), 고급 제어 에셋 (advanced control asset), 음향 및 먼지 없는 하우징의 조합으로 3204를 반도체 및 리소그래피 스크러빙 응용 분야에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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