판매용 중고 SSEC 1756 #9018957

SSEC 1756은 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 특히 웨이퍼 (wafer) 와 포토 마스크 (photomask) 표면에서 원치 않는 입자와 오염 물질을 안전하게 제거하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 중요한 사진 분석 작업 중 항복 손실 및 오염 위험을 최소화하도록 설계되었습니다. 1756은 고 진공 발전기, 수동 제어 장치 및 스크러버 헤드 (옵션) 가있는 자동 장비입니다. 맞춤형 스크러빙 헤드는 플랫 (flat) 및 컨투어 (contoured) 웨이퍼 및 포토 마스크 모두를 수용할 수 있으며 프로세스 매개변수 및 기판 모양에 맞게 조정할 수 있습니다. 스크러빙 헤드는 조절 가능한 스크러빙 압력과 압축을 갖춘 단일 (single) 또는 더블 패스 (double-pass) 시스템을 사용하여 최적의 제어 및 유연성을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 또는 포토마스크 서피스의 정확한 위치와 위치에 자동으로 조정되도록 설계되었습니다. 이 위치 지정은 기판 무결성을 손상시키지 않고 원치 않는 입자를 제거하는 데 도움이됩니다. 또한, 스크러버 헤드는 스크러빙 오정을 줄이기 위해 전자 웨이퍼 정렬 장치를 특징으로합니다. 스크러빙 액션은 기판 및 프로세스의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 스크러빙 미디어 (scrubbing media) 는 부드럽고 다공성 인 재료로 만들어졌으며 잔류 물을 없애도록 설계되었습니다. 스크러빙 동작은 정전기적으로 구동되어 마찰이 적고 일관된 과정을 생성합니다. 인라인 입자 모니터링 기계 (옵션) 는 프로세스 챔버의 입자 수준에 관한 정확한 데이터를 제공합니다. 이 데이터를 사용하여 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 조정하여 스크러빙 (scrubbing) 프로세스의 성능과 정확도를 더욱 높일 수 있습니다. 스크러버는 또한 가능한 한 안전하고 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 모든 구성 요소는 피로를 줄이기 위해 인체 공학적으로 설계되었으며, 스크러버 (scrubber) 의 디자인은 서비스 수명 연장 (extended service life) 과 안전한 운영 (safe operation) 을 항상 제공합니다. 컨트롤은 간단하고 간단하여 다양한 사용자가 액세스 할 수 있습니다. 전반적으로 SSEC 1756은 최고 수준의 스크러빙 성능 및 입자 감지 기능 (Particle Detection) 을 제공하여 안전 및 사용자 친화적 인 운영을 최적화합니다. 평판 기판 (flat and contoured substrate) 을 청소하는 고급 기능과 능력은 반도체 제조 시설에 매우 귀중한 도구를 제공합니다.