판매용 중고 SHODA Jet #9208090

SHODA Jet은 웨이퍼와 마스크에서 입자, 오염 물질, 잔류 물을 제거하도록 설계된 고효율 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 제품은 반도체 제조 공정의 민감한 부품을 깨끗이 정리하는 데 특화된 솔루션을 사용하는 자동화된 솔루션으로, 파트 빈 (part-bin) 인벤토리 (inventory) 가 낮은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 처리에 이상적인 솔루션입니다. 제트 스크러버 (Jet scrubber) 는 4 개의 세탁주기로 시간당 최대 25 개의 웨이퍼와 마스크를 처리 할 수 있습니다. 4 가지 세탁주기는 다음과 같습니다: 취급, 두꺼운 필름 스크러빙, 박막 스크러빙 및 건조. 처리 단계에서 SHODA Jet은 픽업하여 웨이퍼와 마스크를 안전하게 배치합니다. 굵은 필름 스크러빙 (scrubbing) 단계에서 과잉 오염 물질을 제거하기 위해 와퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면에 브러시 (brush) 와 적절한 클리닝 제가 적용됩니다. 박막 스크러빙 (thin-film scrubbing) 단계는 세척 용매를 사용하여 웨이퍼와 마스크의 표면을 청소합니다. 마지막으로, 건조 단계는 공기 건조 장비를 사용하여 물 또는 오염 물질이 기판에 남아 있지 않도록 합니다. 제트 (Jet) 는 또한 자동 제어 시스템을 사용하여 스크러빙 프로세스를 모니터링하고 제어합니다. 제어 장치 (Control Unit) 를 사용하면 연산자가 프로세스 매개변수를 제어하고, 용액 및 수압 수준 (scrubbing cycle) 을 조정할 수 있습니다. 또한, 기계는 다양한 알람 (alarm) 을 특징으로하며, 스크러빙 프로세스의 상태와 발생할 수있는 모든 잠재적 문제에 대한 피드백을 연산자에게 제공합니다. SHODA Jet은 스크러빙 솔루션 탱크 (scrubbing solution tank), 펌프 (pump), 전처리 필터 및 공기 소스를 포함하는 완전히 포함 된 독립형 유닛입니다. 이 장치 에는, 민감 한 전자 부품 을 효과적 으로 청소 하도록 설계 된, 여러 가지 청소 "에이전트 '와 해결책 이 들어 있다. 또한, 제트 (Jet) 는 프로세스를 모니터링하고 문제를 측정하기 위해 스크러버에 다양한 센서를 포함합니다. SHODA Jet (SHODA Jet) 은 모든 반도체 제조 공정에서 민감한 부품을 청소하기위한 효율적이고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 시간당 최대 25 개의 웨이퍼와 마스크를 처리 할 수 있으며, 특정 요구에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 자동화된 제어 도구 (automated control tool) 는 스크러빙 프로세스가 제대로 모니터링되고 기판을 가장 효율적인 방법으로 청소하도록 합니다. 게다가, 이 장치는 내구성이 있고 유지 보수하기 쉬운 자체 포함 장치 (self-contained unit) 로 둘러싸여 있습니다. 이러한 모든 기능은 결합하여 Jet을 모든 반도체 제조 공정에 대한 완벽한 스크러빙 솔루션으로 만듭니다.