판매용 중고 SEMINET AUTOMATION SafeGuard RIS32-0065 #9127883

SEMINET AUTOMATION SafeGuard RIS32-0065는 광범위한 반도체 제작 프로세스를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 혁신적인 도구는 금속화 (metalization) 또는 에칭 (etching) 전에 Photoresist, 입자 및 외국 재료를 제거 할 수 있으므로 photomasks 및 웨이퍼의 스크러빙을 최적화합니다. RIS32-0065는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 과 캐스트 알루미늄 (Cast Aluminum) 으로 구성된 강력하고 견고한 케이스를 특징으로하며 안정적이고 정확한 기술적으로 고급 PLC 및 HMI와 함께 작동합니다. 그것 은 직경 이 최대 6 "인치 ', 픽앤드 플레이스' 가 최대 3" 인치 '인 광자 "마스크' 를 처리 하도록 설계 되었다. RIS32-0065는 안전성, 성능, 신뢰성에 대한 가장 까다로운 표준을 충족하는, 효율적이고 사용하기 쉬운 스크러버입니다. 여기에는 청소 압력 조절기, 펄스 커브 생성기, 지속 된 청소 및 건조, 모든 통합 제어 및 청소 매개변수 (integrated controls and cleaning parameters) 가 포함 된 여러 기능이 포함됩니다. 강력한 진공 펌프는 최대 28.3mHg의 압력을 제공하여 빠르고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 클리닝 기능을 제공합니다. 스크러버는 또한 [단일], [임의] 및 [선형] 모드 옵션을 사용하여 자동 자체 진단 및 여러 클리닝 모드를 사용할 수 있습니다. 가변 설정과 주파수를 가진 여러 초음파 제트 (jet) 가 장착되어 클리닝 강도를 조정하고 하루 24 시간 실행 할 수 있습니다. 안전하고, RIS32-0065는 청소 과정에서 생성된 입자로부터 사용자와 연산자를 보호하기 위해 안전 도어 (Safety Door) 와 패널로 설계되었습니다. 프로세서 보드 (Processor Board) 와 PLC 화면 (PLC Screen) 도 캐비닛 내부에 장착되어 있어 손쉽게 액세스할 수 있으므로 유지 관리 및 수리 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 게다가, "스크러버 '는 또한 조작 이 순조 롭고 올바로 행해지도록 안전 장치 를 내장 하였다. 스크러버는 주기 시간 (cycle time) 및 잔여 값 (residual value) 을 포함한 여러 매개변수를 측정하는 EDB1 데이터 로깅 기능을 사용하여 추가로 설계되었습니다. 또한 여러 표준 산업용 통신 프로토콜과 호환되며, 로컬 네트워크 (local network) 나 외부 IT 인프라에 연결할 수 있으므로, 여러 다른 장치 및 시스템과 통신할 수 있습니다. SafeGuard RIS32-0065는 포토 마스크 및 웨이퍼의 효과적이고 효율적인 스크러빙이 필요한 반도체 제작 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 인체 공학적 인 "디자인 '과 견고 한 건축 으로, 심지어 장기간 사용 할 때 에도 안전 하고 조용 하게 작동 할 수 있다. 자동 클리닝 기능, 가변 설정 (variable settings), 통합 안전 (integrated safety) 기능을 통해 RIS32-0065가 모든 반도체 제작 프로세스에 최적의 선택인 이유를 쉽게 알 수 있습니다.