판매용 중고 SDI MicroKlean ILD3 #9357166
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SDI MicroKlean ILD3는 혁신적인 ILD (Integrated Laser Detection) 기능으로 웨이퍼 청결 및 입자 제어 요구 사항을 개선하고 유지하기 위해 설계된 고성능 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 수동 및 로봇 작동을 위해 설계된 핸드 헬드 (handheld), 공기 작동 브러시 도구를 사용하여 클리닝 (cleaning) 및 입자 감지 기술을 조합하여 사용합니다. MicroKlean ILD3에는 성공적인 스크러빙 및 입자 검출을위한 3 가지 필수 구성 요소 (브러시 헤드, 레이저/이미지/데이터 수집 장비 및 물 흡수 시스템) 가 포함되어 있습니다. 브러시 헤드 (brush head) 는 효과적인 스크러빙 파워를 제공하고 섬세한 표면을 긁을 위험을 줄이기 위해 설계된 특수 강모로 설계되었습니다. 레이저/이미지/데이터 수집 장치 (laser/image/data collection unit) 는 스크러빙되는 표면을 향해 레이저 빔 패턴을 방출하여 작동하며, 이는 세부 이미지와 데이터를 동시에 캡처합니다. 이 데이터는 입자 수준 및 스크러빙 (scrubbing) 주의가 필요한 영역을 결정하는 데 사용됩니다. 물 흡수 장치 (water-intake machine) 는 원격 저수지에서 물을 스크러버 (scrubber) 로 끌어 올려 브러시 헤드 (brush head) 로 안내하여 강모가 잠재적으로 섬세한 표면을 긁지 못하게합니다. SDI MicroKlean ILD3에는 운영자가 스크러버 높이, 적용된 압력, 스크러빙 속도를 조정할 수있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 이로 인해 세척 웨이퍼가 쉬워지고 스크러빙 정확도가 향상됩니다. 또한 마이크로클린 (MicroKlean) 은 자동화된 오류 감지 기능을 통해, 빠르고 쉽게 수정할 수 있는 스크러빙 프로세스의 오류를 감지할 수 있습니다. MicroKlean ILD3는 반도체 및 고급 포장 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 입자 감지 및 청결 조절에 대한 이러한 정확한 요구 사항을 충족시키기 때문에, 스크러버 (scrubber) 는 제조 된 웨이퍼 및 마스크의 품질 제어를 보장하는 신뢰할 수있는 투자입니다. 이 스크러버 (scrubber) 의 고유 한 ILD 기능은 또한 스크러빙 (scrubbing) 프로세스의 효율성을 더욱 높여주는 수작업 (manual labour) 의 필요성을 줄이는 데 유익합니다. 이는 고품질 부품을 생산하는 데 도움이 되며, 결국 제조업체의 생산 프로세스 속도를 높일 수 있습니다.
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