판매용 중고 SCHMID 352 #9124726

ID: 9124726
빈티지: 2008
2008 vintage.
SCHMID 352 (SCHMID 352) 는 반도체 제작의 생산 과정에서 웨이퍼와 마스크를 문지르도록 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 특수 스크러버 (scrubber) 에는 웨이퍼 및 마스크 표면에서 오염 물질을 제거하기 위해 고 에너지 스크러빙 장치가 장착되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 수동 제어판이 장착되어 있어 장치의 프로그래밍 및 제어 설정에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 352의 스크러빙 장치는 스테인리스 스틸 롤러, 공압 브레이크 및 전자 브러쉬 헤드로 구성됩니다. 이 롤러는 고급 헤링본 (herringbone) 기술을 활용하며, 브러시 헤드를 통한 롤러 조정 (synchronized adjustment) 과 결합하여 고압 세제 및 청소기를 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 표면으로 쉽게 연결할 수 있습니다. 견고 한 설계 와 우수 한 건축 을 통해, 유사 한 스크러빙 장치 에 비해, 더 긴 "서비스 '수명 과 개선 된 청소 결과 를 얻을 수 있다. SCHMID 352의 추진력은 유도 모터로 구동되며, 이는 분당 1,050-1,320 회전 (RPM) 을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 독특한 왕복 클리닝 동작을 사용하여 웨이퍼 또는 마스크의 서피스를 청소하고 레이어를 해제합니다. 이 동작은 스크러빙 장치 (scrubbing unit) 가 켜져 있을 때 시작되며 일관되고 신뢰할 수 있는 클리닝 프로세스를 제공합니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 부드럽게 제어할 수 있으며, 이를 통해 사용자가 브러쉬의 각도와 속도를 조정하여 사용자 정의 (customized) 된 청소 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 브러쉬 헤드는 다양한 기능을 추가하기 위해 양방향으로 회전 할 수 있습니다. 이 장치에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있는 소프트웨어 인터페이스가 추가로 장착되어 있습니다. 이 인터페이스를 통해 엔지니어는 스크러빙 속도 (scrubbing speed), 브러쉬 헤드 회전 (brush head rotation), 표준 클리닝 프로그램 (standard cleaning program) 선택과 같은 매개변수를 사용자 정의, 프로그래밍 및 조정할 수 있습니다. 직관적인 LCD 디스플레이에서 이러한 설정을 모두 조정 및 모니터링할 수 있습니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 를 효과적 이고 일관성 있게 청소 하여 질 과 생산량 을 향상 시키는 데 도움 이 되기 때문 에, 352 는 반도체 제작 의 필수적 인 부분 이다. 자동화된 청소 동작과 결합된 견고한 구조 (Struction) 및 다용도 제어 (Versitile Control) 옵션은 스크러버를 반도체 제조업체에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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