판매용 중고 SAWA SC A22 #9157623

SAWA SC A22 (SAWA SC A22) 는 마모가 최소화 된 웨이퍼, 마스크 등 평평한 표면에서 입자와 접착 잔류 물을 빠르게 제거하도록 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버는 생산 과정에서 포토 마스크, 베어 실리콘 웨이퍼, 연마 웨이퍼를 청소하는 데 사용될 수 있습니다. 도금, 습식 청소, 결합 등 후반 처리 용 기판을 준비하는 데에도 사용됩니다. SC A22 는 청소 효율을 높이고, 입자 생성을 줄이고, 표면 준비를 향상시키기 위해 다양한 브러싱 (brushing) 과 진공 (vacuum) 기술을 갖추고 있습니다. SAWA SC A22 (Sawa SC A22) 는 와퍼 및 포토 마스크 표면에서 입자를 동요하고 중단시키기 위해 높은 주파수로 진동하는 부드러운, 중간, 하드 강모가있는 브러시 패드를 포함하여 강력한 듀얼 브러시 장비를 사용합니다. 이 이중 브러쉬 시스템은 고효율 진공 단위와 통합되어 효과적인 입자 제거를 보장하는 한편, 입자 재강착 (re-deposition) 을 방지합니다. 에어 나이프도 통합되어 파편의 린싱과 폭발을 촉진합니다. 스크러버는 사이클 당 4 개의 웨이퍼와 4 개의 마스크를 수용 할 수 있습니다. 기판 비품은 번역 드라이브 머신 (translating drive machine) 에 잠겨 기판 비품과 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 사이에서 스크러빙 암을 이동합니다. 스크러빙 헤드를 조정하여 브러싱 (brushing) 및 진공 (vacuum) 기능을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 특정 응용 프로그램에 따라 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 최적화할 수 있습니다. 내장 압력 센서는 또한 스크러빙 압력이 사전 프로그래밍 된 설정 내에 있는지 확인합니다. SC A22에는 사용자 친화적 인 제어 도구가 장착되어 있으며 모니터링, 프로그래밍, 진단 및 OEE (전체 장비 효율) 기능이 포함되어 있습니다. 제어 자산은 장거리 작동을 위해 원격 액세스 기능이 내장 된 12.1 인치 LCD 터치 스크린을 갖추고 있습니다. 머신을 자동으로 실행하도록 프로그래밍할 수도 있으며, 반복 실행을 위해 저장된 클리닝 레시피를 추가, 편집 (Added and Edited) 할 수도 있습니다. 내장 Operator Model Alarm은 연산자에게 불규칙한 조건을 알립니다. SAWA SC A22는 광범위한 반도체 응용 분야에 이상적인 스크러버입니다. 이 기계는 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 작동 및 유지 보수가 쉽습니다. 결과적으로, 이 스크러버는 높은 수준의 프로세스 제어 (process control) 및 라인 안정화 (line stabilization) 가 필요한 생산 라인에 사용하기에 적합합니다.