판매용 중고 RUDOLPH FE VII/IV #9398260

RUDOLPH FE VII/IV는 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 스크러빙, 감시 및 위생 기능을 제어하는 4 개의 독립 모터로 구동됩니다. 스크러빙 프로세스 (scrubbing process) 는 제조 과정에서 기질의 오염량을 줄이기 위해 설계되었습니다. 특허 출원 중인 회전 암 (rotating arm) 기술을 사용하여 기판 전체 표면 주위에서 스크러빙 헤드를 회전시킵니다. 이 감시 기능 을 통해 "오퍼레이터 '들 은 긁는 팔 의 상태 를 관찰 하고 쉽게 조정 할 수 있으며, 위생 기능 은 기판 의 최고 의 청결 함 을 보장 해 준다. FE VII/IV는 직경이 최대 18 ", 두께가 1.36" 인 웨이퍼를 스크러빙 할 수 있습니다. 스크러빙 공정 (scrubbing process) 은 강화 된 카바이드 및 부드러운 강모 브러시를 사용하여 기판 표면에서 입자를 청소하는 최첨단 상태입니다. 이러 한 회전 하는 "브러쉬 '는 수동" 스크러빙' 을 할 때 쉽게 볼 수 없을 수 있는 부면 에 이르기 위해 열심 히 관통 하는 데 효과 가 있다. 스크러빙 프로세스는 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 프로그래밍 및 사용자 정의 할 수도 있습니다. FE VII/IV에는 기판에서 긁힌 입자를 수집하기 위해 1000 와트 진공 시스템이 장착되어 있습니다. 이 진공 "시스템 '은 공기 의 입자 들 이 주변 환경 에 도달 하는 것 을 감소 시켜, 기질 표면 의 효율성 과 청결 함 을 향상 시켜 준다. FE VII/IV의 추가 기능에는 소형 바디 및 에너지 효율이 포함됩니다. 콤팩트 바디 (Compact Body) 를 사용하면 쉽게 설치할 수 있으며 시설에 최소한의 공간이 필요합니다. 이 장치는 또한 12V DC에서만 작동하여 다른 스크러빙 솔루션의 에너지 사용을 줄입니다. RUDOLPH FE VII/IV 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 반도체 제작 과정에서 기판을 깨끗하게 유지하는 효과적인 솔루션입니다. 회전하는 스크러빙 암 (scrubbing arms), 감시 및 위생 기능, 에너지 효율성을 통해 모든 제조 시설을 위한 최고의 솔루션이 됩니다.