판매용 중고 ROTHSE RR 6141 #9294531

ID: 9294531
웨이퍼 크기: 6"
Inspection system, 6".
ROTHSE RR 6141은 반도체 제조 공정 및 웨이퍼 마스크 스크러빙 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 자동 장비 솔루션입니다. RR 6141은 수평 장착, 자체 포함 및 완전 자동화 된 웨이퍼 마스크 스크러버로, 진동 동작을 사용하며 3 개의 개별 클리닝 모드 단면 클리닝, 양면 클리닝 및 다중 계층 클리닝이 있습니다. ROTHSE RR 6141은 다양한 스크러빙 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 첫째, RR 6141 은 단면 스크러빙 (scrubbing) 작업을 수행할 수 있습니다. 즉, 웨이퍼의 한쪽을 청소하고 한 번의 실행으로 마스크를 만들 수 있습니다. 둘째, 양면 스크러빙 (scrubbing) 작업을 수행하여 단일 패스로 웨이퍼와 마스크의 양면을 완료 할 수 있습니다. 마지막으로 ROTHSE RR 6141은 다중 계층 스크러빙 (scrubbing) 작업을 수행하여 여러 계층에 걸쳐 다양한 심도 클리닝 작업을 완료할 수 있습니다. 웨이퍼 마스크. RR 6141 은 분당 최대 2000 회 (rotation per minute) 속도로 작동하도록 설계되어 철저하고 일관된 클리닝 성능을 제공합니다. ROTHSE RR 6141에는 효율적인 운영 및 사용을 지원하는 다양한 기능이 있습니다. 이 어플라이언스에는 직관적인 디지털 컨트롤 (digital control) 장비와 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 가 있어 원하는 클리닝 작업을 정확하게 구성할 수 있습니다. RR 6141 은 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 제공하여 사용자가 원하는 매개변수 (예: 진동 동작 방향, 진동 빈도, 클리닝 주기 지속 시간, 유지 시간) 를 선택할 수 있습니다. 또한 ROTHSE RR 6141에는 센서와 모니터가 장착되어 있어 적절한 작동을 유지하고, 유지 보수 문제에 대해 사용자에게 알립니다. RR 6141 은 "가스 '관리" 시스템' 을 이용 하여 청소 용액 을 끊임없이 시료 하고 산소 와 "오존 '수치 를 감시 한다. 이 기기 는 또한 자동 검사 장치 (automated inspection unit) 를 장착 하여 "웨이퍼 '표면 과" 마스크' 를 검사 하여 깨끗 하게 한다. ROTHSE RR 6141은 기존 생산 라인에 통합되거나 독립형 장치로 사용될 수 있습니다. 이 어플라이언스에는 모듈식 (modular) 디자인이 장착되어 있어 변화하는 운영 요구에 맞게 쉽게 재배치하고 구성할 수 있습니다. 또한 RR 6141은 클래스 100 등급이며 합성 Nitrile 장갑 및 HEPA 필터를 사용하여 사용자에게 클린 룸 요구 사항을 준수합니다. 결론적으로, ROTHSE RR 6141은 웨이퍼 마스크 스크러빙 응용 프로그램을위한 포괄적이고 고효율 솔루션입니다. 기기는 다양한 스크러빙 모드, 직관적인 디지털 컨트롤, 광범위한 프로세스 매개변수 구성을 제공합니다. 또한, 이 기기 에는 효율적 인 작동 을 유지 하고, 청정실 요건 을 유지 하기 위한 자동 "센서 '와 검사기 가 장착 되어 있다.
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