판매용 중고 QUILL VOGUE SMVIP5 #9208351
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QUILL VOGUE SMVIP5는 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 최대 정밀도로 반도체 웨이퍼 및 사진 마스크를 올바르게 청소하도록 설계되었습니다. 그것 은 "와퍼 '의 표면 을 가로질러 움직 이는" 로봇' 스크러버 '로 구성 되어 있으며 균일 한 진동 을 가하는 동안 일관성 있는 "스크러빙' 압력 을 준다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 모든 영역 이 지표면 에 최소 의 손상 을 입혀 완전 히 청소 된다. SMVIP5에는 최대 900RPM의 강력한 회전을 가능하게 하는 고급 브러시 (brush) 장비가 내장되어 있습니다. 이러 한 회전 을 통해 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 균일 한 깊이 로 문지르면, 표면 을 완전 히 깨끗 하게 할 수 있다. 이 제품을 사용하여 긁힌 웨이퍼와 마스크는 황화물 (sulphide) 과 염소 처리 (chlorination treatment) 를 포함한 다양한 청소 처리를 받을 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 서피스를 청소할 때 최대 유연성이 허용됩니다. QUILL VOGUE SMVIP5의 브러시 시스템 외에도, 클렌징에 사용되는 물에서 먼지와 파편을 제거하는 고급 필터링 장치 (advanced filtering unit) 가 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 깨끗 한 표면 이 원시 상태 로 유지 되고 손상 을 입지 않도록 한다. 또한 먼지 나 부스러기 (파편) 를 빨리 처리 (disposed) 하여 청소 주기를 연장하지 않고도 지속적인 정화 (cleansing) 를 가능하게합니다. SMVIP5 는 전반적인 서비스 품질 (Service Quality) 에 추가하기 위해 몇 가지 다른 안전 및 정확도 기능을 제공합니다. 여기에는 클렌징 공정에 사용되는 스크러빙 온도를 조절하는 이중 온도 모니터링 장치 (dual temperature monitoring unit) 가 포함됩니다. 이것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 이 표면 을 손상 시킬 수 있는 과도 한 온도 를 갖지 않도록 한다. QUILL VOGUE SMVIP5 (QUILL VOGUE SMVIP5) 에는 스크러빙 프로세스 동안 웨이퍼와 마스크를 지속적으로 모니터링 할 수있는 LED 경량 머신도 함께 제공됩니다. 밝은 LED 표시등은 청소 과정에서 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 표면에서 불규칙성을 감지할 수 있습니다. 손쉬운 유지 관리 및 운영을 위해 SMVIP5 는 스크러버 (scrubber) 의 현재 상태에 대한 필수 정보를 제공하는 온보드 (on board) 모니터도 함께 제공합니다. 여기에는 물 유속, 브러시 마모, 전기 배선 등의 모니터링이 포함됩니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와" 마스크' 에 대한 최고 의 청소 질 을 보장 하는 것 과 더불어 시간 에 따라 유지 가 이루어진다. 결론적으로, QUILL VOGUE SMVIP5는 고급 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 최소한의 표면 손상으로 최대 표면 청소를 보장합니다. 강력한 브러쉬 도구 (Brush Tool) 와 고급 필터링 에셋은 지표가 깨끗하게 유지되도록 합니다. 이중 온도 모니터링 모델과 LED 경장비는 정화 과정에서 정확성을 보장합니다. 마지막으로, 온보드 모니터를 사용하면 유지 관리 및 작동이 쉬워지며, 최고 수준의 정화 (cleansing) 를 유지할 수 있습니다.
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